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薄膜厚度测量系统
- 品牌：沈阳科晶
- 型号： TF200
- 产地：沈阳
- 供应商报价： 面议
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沈阳科晶自动化设备有限公司
更新时间：2024-04-24 08:15:54 -
企业性质生产商
入驻年限第10年
营业执照已审核
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- 详细介绍
TF200薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线。TF200根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm，可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜，还可以测量n和k值。 产品型号
TF200-VIS
TF200-EXR
TF200-DUV
TF200-XNIR
主要特点
快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高
应用领域
半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS，SOI等）
LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)
LED (SiO2、光刻胶ITO等）
触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)
汽车(防雾层、Hard Coating DLC等）
医学（聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等）
波长范围
380-1050nm
380-1700nm
190-1100nm
900-1700nm
厚度范围
50nm-40um
50nm-300um
1nm-30um
10um-3mm
准确度（取决于材料0.4%或2nm之间取较大者）
2nm
2nm
1nm
10nm
精度
0.2nm
0.2nm
0.2nm
3nm
入射角
90°
90°
90°
90°
样品材料
透明或半透明
透明或半透明
透明或半透明
透明或半透明
测量模式
反射/透射
反射/透射
反射/透射
反射/透射
光斑尺寸（可选微光斑附件。）
2mm
2mm
2mm
2mm
是否能在线
是
是
是
是
扫描选择
XY可选
XY可选
XY可选
XY可选
