TFMS-LD反射光谱薄膜测厚仪是一款利用反射光谱测试薄膜厚度的仪器，可快速精确地测量透明或半透明薄膜的厚度而不损伤样品表面的薄膜，是一款无损测厚仪，其测量膜厚范围为15nm-50um，测量膜厚范围广，尤其适用于超薄薄膜厚度的测量。仪器所发出测试光的波长范围为400nm-1100nm，波长范围广，因此，测试薄膜厚度的范围广。TFMS-LD反射光谱薄膜测厚仪测试系统的理论基础为镜面光纤反射探头，该仪器尺寸小巧可节省实验室空间，操作方便，读数直观，方便于在实验室中摆放和使用。
| 产品名称 | TFMS-LD反射光谱薄膜测厚仪 |
| 产品型号 | TFMS-LD |
| 测量膜厚范围 | 15nm-50um |
| 光谱波长 | 400 nm - 1100 nm |
| 主要测量透明或半透明薄膜厚度 | 氧化物 氮化物 光刻胶 半导体（硅，单晶硅，多晶硅等） 半导体化合物（ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS等） 硬涂层（碳化硅，类金刚石炭） 聚合物涂层(聚对二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺) 金属膜 |
| 特点 | 测量和数据分析同时进行，可测量单层膜，多层膜，无基底和非均匀膜 包含了500多种材料的光学常数，新材料参数也可很容易地添加，支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等 体积较小，方便摆放和操作 可测量薄膜厚度，材料光学常数和表面粗糙度 使用电脑操作，界面中点击，即可进行测量和分析 |
| 精度 | 0.01nm或0.01% |
| 准确度 | 0.2%或1nm |
| 稳定性 | 0.02nm或0.02% |
| 光斑尺寸 | 标准3mm,可以小至3um |
| 要求样品大小 | 大于1mm |
| 分光仪/检测器 | 400 - 1100 nm 波长范围 光谱分辨率: < 1 nm 电源 100 -250 VAC, 50/60 Hz 20W |
| 光源 | 5W的钨卤素灯 色温：2800K 使用寿命:1000小时 |
| 反射探针 | 光学纤维探针，400um纤维芯 配有分光仪和光源支架 |
| 载样台 | 测量时用于放置测量的样品 |
| 通讯接口 | USB接口，方便与电脑对接 |
| TFCompanion软件 | 强大的数据库包含两500多种材料的光学常数（n：折射率，K：消失系数） 误差分析和模拟系统，保证在不同环境下对样品测量的准确性 可分析简单和复杂的膜系 |
| 设备尺寸 | 200x250x100mm |
| 重量 | 4.5kg |
产品特性： •薄膜行业厚度测量标准配置，适用于高精度测量，内置测帽调平机构、避免反复设置系数 •全自动测量，避免人为因素干扰，提高精度，数值自动上传电脑保存，可实现测量过程无人值守，减负增效 • 测量精度高，分辨率可达0.1μm • 测量速度快，结果响应时间为0.015s • 大理石台面00级，精度高，质地硬，永不生锈 • 德国Mahr的品质保证，可实现长期高稳定性的测量 • 薄膜行业专用软件Filder 1.0，具有数据管理，用户管理等强大功能 软件特性：Filder 1.0 特别为薄膜行业开发设计 可实时显示记录测量值，并计算Z大值，Z小值，平均值，偏差值等一系列参数 软件自动绘制厚度曲线和偏差图 测量结果可导出至Excel表格 软件具有用户管理功能，可设置不同的人员权限，有效防止误操作和数据的误删除 具有数据管理功能，测量数据及相关产品、人员信息永久保存，便于测量数据的追踪和溯源
全自动薄膜测厚仪，天然大理石工作台，另有除尘除静电机构。自动进膜，配套测量仪软件，自动记录数据，节省人工和时间。薄膜测厚精准，达到0.01微米
营业执照已审核
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