薄膜测厚仪 
干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(～10-7米)，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。
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KLA FilmetricsF20是一款高精度薄膜厚度测量仪，采用光谱反射技术，测量范围覆盖1纳米至3毫米，具备一键操作、非接触测量及多层结构分析能力，广泛应用于半导体、OLED、光伏、生物医学等领域，兼具高精度与易用性。
产品特性： •薄膜行业厚度测量标准配置，适用于高精度测量，内置测帽调平机构、避免反复设置系数 •全自动测量，避免人为因素干扰，提高精度，数值自动上传电脑保存，可实现测量过程无人值守，减负增效 • 测量精度高，分辨率可达0.1μm • 测量速度快，结果响应时间为0.015s • 大理石台面00级，精度高，质地硬，永不生锈 • 德国Mahr的品质保证，可实现长期高稳定性的测量 • 薄膜行业专用软件Filder 1.0，具有数据管理，用户管理等强大功能 软件特性：Filder 1.0 特别为薄膜行业开发设计 可实时显示记录测量值，并计算Z大值，Z小值，平均值，偏差值等一系列参数 软件自动绘制厚度曲线和偏差图 测量结果可导出至Excel表格 软件具有用户管理功能，可设置不同的人员权限，有效防止误操作和数据的误删除 具有数据管理功能，测量数据及相关产品、人员信息永久保存，便于测量数据的追踪和溯源
营业执照已审核
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沪公网安备 31011502008050号