Olympus LEXT OLS4500激光共焦显微镜

LEXT OLS4500是一款集成了激光显微镜和探针扫描显微镜功能于一体的新型纳米检测显微镜，可以实现从50倍到100万倍的超大范围的观察和测量。

OLYMPUS LEXT OLS4500是结合了传统光学显微镜、激光扫描显微镜（LSM）以及探针扫描显微镜（SPM）功能的一体机。LEXT OLS4500可以满足不同样品的观测需求，是一台新时代的观察、测量装置。

LEXT OLS4500可以轻松实现从毫米到纳米的观察和测量，放大倍率由几十倍到高达百万倍。找到观测目标（观察对象）后，您可以在光学显微镜模式、激光显微镜模式和探针显微镜模式之间自由切换，而不用担心目标丢失。并且您可以使用探针显微镜迅速而正确的完成观察，大大缩短了获取影像的时间。这些便是OLS4500一体机的自由操作带给您的益处。更加方便、更加顺利地完成超大范围观察和测量。实现了自由切换操作的LEXT OLS4500。

光学显微镜是从样品上方照射可见光（波长约400 nm到800 nm）， 利用其反射光成像，能够放大样品数十倍到一千倍左右进行观察。光学显微镜的特长是可以真实观察彩色样品， 还可以切换观察方法， 强调样品表面的凹凸， 利用物质的特性（偏光性）进行观察。OLS4500上可以使用：明视场观察，微分干涉观察，简易偏振光观察。

LEXT OLS4500采用405 nm的短波长半导体激光、高数值孔径的专用物镜、以及独特的共焦光学系统，可以达到0.12 μm的平面分辨率。此外，OLS4500配有奥林巴斯***的扫描加扫描型2D扫描仪，可以实现高达4096×4096像素的高精度XY扫描。

OLS4500上采用了光杠杆法——通过高灵敏度检测出最前端装有探针的微悬臂的微小弯曲量（位移）来进行观测的方法。在悬臂的背面反射激光，并用压电元件驱动Z轴，使激光照射到光电检测器的***位置，从而正确读取Z方向的微小位移。OLS4500配有：接触模式，动态模式，相位模式，电流模式，表面电位模式（KFM），磁力模式（MFM）。

■应用

LEXT OLS4500可用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D 表面形貌、

2D 的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件；

生命科学

微电子机械系统：微型器件的检测，医药工程中组织结构的检测，如基因芯片等

半导体：检测微型电子系统，封装及辅助产品结构设计

太阳能：太阳能电池片栅线的3D 形貌表征、高宽比测量，制绒后3D 形貌表征（单

晶金字塔大小、数量、角度，多晶腐蚀坑形貌、密度），粗糙度分析等

纸张：纸张、钱币表面三维形貌测量

LED行业

■技术参数

LSM部分

光源：白光LED，405nm半导体激光

检出系统：光电倍增管

分辨率：移动分辨率10nm，显示分辨率1nm

物镜转换器：6孔电动物镜转换器

物镜：100x，50x，20x等（可选）

变焦：光学变焦：1～8X，数码变焦：1～8X

SPM部分

光源：659nm半导体激光

检出设备：光电检测器

扫描范围：X/Y 方向，30μm x 30μm， Z 方向：4.6μm，

微悬臂规格：根据用途不同微悬臂有不同型号、类型

工作电源：100-240V, 50-60Hz,

总重量：约440KG