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非接触式3D轮廓仪

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非接触式3D轮廓仪 核心参数
仪器分类: 非接触式
详细介绍

Nano View-2400非接触式3D轮廓仪

NanoSystem NV-2400.jpg

Nano View-2400非接触式3D轮廓仪LCDIC PackageSubstrateBuild-up PCBMEMSEngineering Surfaces等领域提供纳米级别精度的量测.

通过非接触式的方法对0.1nm-270nm3维表面形貌进行高进度和高速测量。利用物镜转台可方便的进行放大倍数的转换。使用拼接功能可分析宽广的表面。

 

产品规格:

干涉物镜:5个物镜可选

扫描范围:0-180um270um5mm可选)

垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm PSI :﹤0.1nm

倾斜台:±6°

Z轴行程:100mm(手动)

工作台面:100X100mm(程控)



产品优势
通过非接触式的方法对0.1nm-270nm的3维表面形貌进行高进度和高速测量。利用物镜转台可方便的进行放大倍数的转换。使用拼接功能可分析宽广的表面。
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