NanoSystem NV-F2700 非接触式3D光学表面轮廓仪
NanoSystem NV-3200 非接触式3D光学轮廓仪
NanoSystem NV-3200 非接触式3D光学轮廓仪
NanoSystem CI-1000气缸内壁检测仪
NanoSystem CylinderScan2000
Patented算法和白光干涉技术创造S/W。获得WSI/PSI技术测量各种表面材料和参数,包括表面纹理、形状、台阶高度和更高0.2 um-横向分辨率
白光扫描干涉技术(0.1nm)、高速测量表面积、高度和体积的技术。在不破坏任何破坏的情况下,纳米系统的(白光扫描干涉法0.1nm到m范围内测量样品,并提供真实的样品三维形状。此外,重复性小于),无论放大,0.1nm。基于纳米系统技术的精度),该产品可***应用于半导体、印刷电路板、显示、工程部件、化工材料、光学部件、生物、
(0.1nm)、(10 Mm)和高清晰度图像,在10000 μ2秒内测量样品,提供真实的(只需将样品直接放在样品台上)反射率为 2D和 3D 测量

产品规格:
干涉物镜:单透镜可选
扫描范围:270um可选)
垂直分辨率:0.5nm ,0.1nm
倾斜台:±Z轴
行程:50X50mm(手动)

应用领域:
Nano View系列为LCD(液晶显示器)、IC Package(芯片封装)、Substrate(基板)、Build-up PCB(积层板)、MEMS(微机电系统),Engineering Surfaces(工程表面)等等领域提供纳米级别精度的量测。
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已咨询235次NanoSystem轮廓仪
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Zeta-300支持3D量测和成像的功能,并提供整合隔离工作台和灵活的配置,可用于处理更大的样品。该系统采用ZDot™技术,可同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像。Zeta-300具备Multi-Mode(多模式)光学系统、简单易用的软件、以及低拥有成本,适用于研发及生产环境。
P-17支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。
P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。
Alpha-Step D-600探针式轮廓仪能够测量从几纳米到1200微米的2D和3D台阶高度。 D-600还可以在研发和生产环境中支持粗糙度、翘曲度和应力的2D和3D测量。 D-600包括一个电动200毫米样品卡盘和先进的光学系统以及加强视频控制。
晶圆几何形貌测量及参数自动检测机使用高精度高速光谱共焦双探头对射传感器实现晶圆的非接触式测量,结合高精度运动模组及晶圆机械手可实现晶圆形貌的亚微米级精度的测量,该系统适用于晶圆多种材质的晶圆,包括蓝宝石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;
晶圆几何形貌及参数自动检测机PLS- F1000/ F1002 是一款专门测量晶圆厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等参数的自动晶圆形貌检测及分选机。