探针式轮廓仪(台阶仪)Alpha-Step D-600
探针式轮廓仪(台阶仪)-P-7
探针式轮廓仪(台阶仪)-P-17
纳米压痕仪-KLA G200X型纳米压痕仪
纳米压痕仪-iMicro型纳米压痕仪iNano/iMicro
P-17支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。
产品描述
P-17是第八代台式探针轮廓仪,是40多年的表面量测经验的结晶。该系统领先业界,支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。
该系统结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台,因而具备出色的测量稳定性。 通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能,程序设置简便快速。 P-17具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法,可以支持2D或3D测量。 并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。
主要功能
· 台阶高度:几纳米至1000μm
· 微力恒力控制:0.03至50mg
· 样品全直径扫描,无需图像拼接
· 视频:500万像素高分辨率彩色摄像机
· 圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差
· 软件:简单易用的软件界面
· 生产能力:通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化
主要应用
· 台阶高度:2D和3D台阶高度
· 纹理:2D和3D粗糙度和波纹度
· 形状:2D和3D翘曲和形状
· 应力:2D和3D薄膜应力
· 缺陷复检:2D和3D缺陷表面形貌
工业应用
· 大学、研究实验室和研究所
· 半导体和化合物半导体
· LED:发光二极管
· 太阳能
· MEMS:微机电系统
· 数据存储
· 汽车
· 医疗设备
· 还有更多:请与我们联系以满足您的要求
报价:面议
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Zeta-300支持3D量测和成像的功能,并提供整合隔离工作台和灵活的配置,可用于处理更大的样品。该系统采用ZDot™技术,可同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像。Zeta-300具备Multi-Mode(多模式)光学系统、简单易用的软件、以及低拥有成本,适用于研发及生产环境。
P-17支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。
P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。
Alpha-Step D-600探针式轮廓仪能够测量从几纳米到1200微米的2D和3D台阶高度。 D-600还可以在研发和生产环境中支持粗糙度、翘曲度和应力的2D和3D测量。 D-600包括一个电动200毫米样品卡盘和先进的光学系统以及加强视频控制。
晶圆几何形貌测量及参数自动检测机使用高精度高速光谱共焦双探头对射传感器实现晶圆的非接触式测量,结合高精度运动模组及晶圆机械手可实现晶圆形貌的亚微米级精度的测量,该系统适用于晶圆多种材质的晶圆,包括蓝宝石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;
晶圆几何形貌及参数自动检测机PLS- F1000/ F1002 是一款专门测量晶圆厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等参数的自动晶圆形貌检测及分选机。