原子力显微镜-12寸样品测量解决方案A300Flex
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原子力显微镜-超便捷集成解决方案NaniteAFM
原子力显微镜-全自动8寸样品解决方案Flex-Mount
原子力显微镜-多功能科研型FlexAFM
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Nanosurf AG是重型样品和大型样品的客户定制原子力显微镜系统的专业解决方案提供者。
Alphacen 300 原子力显微镜系统是一种独特的 AFM 解决方案，可以轻松处理大型和重型样品。它具有Flex-Mount扫描头，采用针尖扫描的设计方式，无论样品重量如何，都能实现高性能成像。配置的CX 控制器是 Nanosurf 最 先进的 AFM 控制器，可快速精确地控制扫描过程，稳定成像。专用的隔音罩可减少外部噪音和振动的影响。同时，该系统还可以通过添加额外移动轴或旋转轴进行更复杂的定制，满足您的特定样品测试需求。
研究级针尖扫描设计
Alphacen 300 采用 Nanosurf FlexAFM 成熟的扫描技术，可提供高质量的成像和可靠的性能。该扫描头基于柔性平板扫描技术设计，确保平面和线性扫描、高分辨率和稳定运行。
Alphacen 300 成像模式
此概述显示了仪器可以使用的模式，某些模式可能需要其他组件或软件选项。如需详细信息，请与我们联系。
标准成像模式
静态力模式
横向力模式
动态力模式 (轻敲模式)
相位成像模式
热成像模式
扫描热显微镜 (SThM)
磁性能
磁场力显微镜
电性能
导电探针原子力显微镜 (C-AFM)
压电力显微镜 (PFM)
静电力显微镜 (EFM)
开尔文探针力显微镜 (KPFM)
扫描扩展电阻显微镜 (SSRM)
纳米机械性能
力与距离曲线
力调制模式
硬度和模量
附着力
延展性
力曲线成像
其它测量模式
纳米刻蚀和纳米操作
电化学原子力显微镜(EC-AFM)
Alphacen 300参数与尺寸系统参数
| 测量头 | |
|---|---|
| 测量头类型 | 针尖扫描 |
| 最大扫描范围 (XY) | 100 微米(1) |
| 最大Z向范围 | 10 微米(1) |
| XY方向线性度 | < 0.1% |
| 最大扫描范围内XY平坦度 | 典型值 5 nm |
| Z-传感器噪声水平 (RMS) | 典型值 150 pm / 最大值 200 pm |
| Z-测量噪声水平 (RMS, 空气中的静态模式) | 典型值 100 pm / 最大值 200 pm |
| 系统噪声水平 (RMS, 空气中的动态模式) | 典型值 25 pm / 最大值 35 pm |
| 激光光源 | 850 nm 低干涉型SLD |
| AC探测器噪声 | < 晚上 10 点 RMS（0.1 Hz 至 1 kHz） |
| DC探测器器噪声 | < 60 fm 赫兹-1/2 100 kHz 以上 |
| 探测器带宽 | DC 至 4 MHz |
| (1) 制造公差 ± 10% |
| 平台 | |
|---|---|
| 顶视视场 | 5 MP，1.5 毫米 x 1.1 毫米 |
| 侧视视场 | 5 MP，3.2 毫米 x 3.2 毫米 |
| 最大样品尺寸 | 300 mm x 300 mm x 45 mm |
| 最大样品重量 | 45 公斤 |
| 真空吸附样品台 | 4’’ / 6’’ / 8’’ / 12’’ 晶片 |
| 自动XY行程范围 | 300 mm x 300 mm |
| 自动逼近范围 | 50 毫米 |
| 系统尺寸 | 1008 mm x 1887 mm x 1208 mm (在组装隔音罩之前可穿过800毫米的门) |
| 系统重量 | 833 千克 |
| 平台 XY 分辨率 | < 1 μm |
| 重复定位精度 | 2 微米 |
| 隔音 | 250 Hz以上~30 dB |
| 隔振 | 主动隔振 |
| 控制器 | |
|---|---|
| 高分辨率输出 (DAC) | 12x 28 bit, 1 MHz/采样; 其中 4x 用户 DAC, ±10V/3dB@200kHz |
| 快速输出 (DAC) | 4x 16 bit, 100 MHz/采样; 其中 1x 用户 DAC, ±1V/3dB@10MHz |
| 高分辨率输入 (ADC) | 10x 20 bit, 1 MHz/采样; 其中 4x 用户 ADC, ±10V/3dB@200kHz |
| 快速输入 (ADC) | 3x 16 bit, 100 MHz/采样; 其中 1x 用户 ADC, ±1V/3dB@10MHz |
| 信号分析仪 | 2 信号分析器功能块，可配置为双通道锁定 |
| FPGA 模块和嵌入式处理器 | 带低延迟 FPGA 信号处理的片上系统模块，100MHz， 双核 ARM 处理器, 2GB RAM, 1.5GHz 时钟 |
| 扫描控制 | 28 位 X/Y/Z-DAC，带有 ±10V/3dB@200kHz |
| 探测器输入 | 偏转/横向 信号分别为 16 bit/3dB@10MHz 和 28 bit/3dB@200kHz |
| 数字同步, 峰值保护 | 2-bit 线/帧同步输出 5 V/TTL电隔离，峰值保护输入 |
| 时钟同步 | 10MHz/3V 时钟输入来同步数据采集和处理 |
| 计算机通讯 | 千兆以太网 |
| 探针 | |
|---|---|
| 宽度 | 最小 20 μm |
| 长度 | 低至 40 μm |
| 反射层 | 建议反光涂层 |
| 液体测量 | 是, 镀金 |
| 定位槽 | 默认情况下有 也存在无对齐槽的特殊悬臂 |
| 共振频率动态模式Easyscan 2控制器 | 15 kHz 至 350 kHz |
| 共振频率动态模式 C3000 控制器 | < 4 兆赫 |
| 探针形状 | 单矩形悬臂和多杠杆悬臂(取决于扫描头版本和悬臂支架 ) |
| 探针基片厚度 | 300 μm, 500 μm 或 600 μm，具体取决于悬臂支架 系统尺寸 |
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在纳米尺度研究领域，瑞士Nanosurf公司推出的DriveAFM原子力显微镜系统代表了当前尖端技术的巅峰之作。通过光热激振（CleanDrive）、直驱扫描（Direct Drive）和全电动控制三大核心技术的协同创新，DriveAFM彻底解决了传统AFM在精度、稳定性和跨环境兼容性上的固有瓶颈，为材料科学和生命科学研究提供了前所未有的高精度、高稳定性的研究平台。
FlexAFM是一款高度通用且灵活稳定的原子力显微镜，适用于物理、材料科学及生物科学等领域。它具有稳定的常规材料学应用性能，并能便捷地与倒置光学显微镜集成用于生物研究，或放置在手套箱中研究二维材料。FlexAFM支持多种操作模式和升级配件，具备高分辨率成像和探索样品地形的能力，尤其擅长处理敏感样品的电气特性，是全球众多科研人员的理想选择。此外，它还能与外部硬件集成，扩展研究功能。对于生命科学研究，FlexAFM能够与倒置显微镜联用，实现在液体环境中的纳米材料、生物分子或细胞研究。结合流体力学探针显微镜FluidFM技术，FlexAFM进一步解锁了单细胞生物学和纳米科学的新应用。
瑞士Nanosurf 原子力显微镜，专为工业级高精度与超大样品而设计，将科研级分辨率与工业兼容性深度融合，成为半导体量产、新材料研发及跨学科微观表征的强有力工具。
表面形貌是许多高科技材料表面的重要特性,其可能低至几纳米,表面粗糙度不到一纳米。原子力显微镜可以在正常环境条件下轻松分析这些特征。
Alphacen 300 原子力显微镜系统是一种独特的 AFM 解决方案，可以轻松处理大型和重型样品。它具有Flex-Mount扫描头，采用针尖扫描的设计方式，无论样品重量如何，都能实现高性能成像。配置的CX 控制器是 Nanosurf 最先进的 AFM 控制器，可快速精确地控制扫描过程，稳定成像。专用的隔音罩可减少外部噪音和振动的影响。同时，该系统还可以通过添加额外移动轴或旋转轴进行更复杂的定制，满足您的特定样品测试需求。
Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比，高真空测量具有准确度好、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点。
高精度探针针尖变量的亚埃米级表面粗糙度测量，晶圆的表面粗糙度对于确定半导体器件的性能是至关重要的，对于先进的元件制造商，芯片制造商和晶圆供应商都要求对晶圆商超平坦表面进行更精确的粗糙度控制。
对于工程师来说，识别介质/平面基底的纳米级缺陷的任务是一个非常耗时的过程，Park NX-HDM原子力显微镜系统可以自动缺陷识别，通过与各种光学仪器的联用可以提高缺陷检测效率。
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