WinSPM EDU扫描探针显微镜教学实验系统
电镜原位原子力 EM-AFM 电镜原位原子力显微镜
电学原子力 Nano observer 电学原子力显微镜
可旋转显微镜 NX-3DM 可旋转全自动原子力显微镜
全自动显微镜 NX-HDM 全自动缺陷检测原子力显微镜
作为一款缺陷形貌分析的测量仪器,其主要目的是对大型样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许多种错误的存在。Park NX20,这款大尺寸样品原子力显微镜,凭借着数据准确性,在半导体和超平样品行业中大受赞扬,ParkNX20拥有业界便捷的设计和自动界面,让你在使用时无需花费大量的时间和精力,也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点,您可以更加专注于解决更为重大的问题,
选项/模式
标准成像 | 电学性能测量 | 机械性能测试 |
真正非接触式 接触式 侧向摩擦力显微技术(LFM) 相位模式,轻敲模式 | 导电AFM(ULCA和VECA) 静电力显微镜(EFM) 压电力显微镜(PFM) 扫描电容显微镜(SCM) 扫描开尔文探针显微镜(KPFM) 扫描电阻显微镜(SSRM) | 力调制显微镜(FMM) (PFM)压电力显微镜 力调制显微镜(FMM) 压痕,纳米刻蚀 相位成像 |
磁性能 | 热性能 | |
磁力显微镜(MFM) | 扫描热显微镜(SThM) |
应用
用于失效分析和大型样品研究的领先的纳米计算工具,满足各个领域的研究
缺陷检查成像和分析
高分辨率电子扫描模式
对样品合基片进行表面粗糙度测量
样品侧壁三维结构的测量

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已咨询202次原子力显微镜
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已咨询250次原子力显微镜
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已咨询239次原子力显微镜
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已咨询198次原子力显微镜
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已咨询203次原子力显微镜
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已咨询294次原子力显微镜
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已咨询351次原子力显微镜
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将传统玻片数字化,进行存储与管理,可建立数字切片库,便于培训、分析、管理等,脱离时间、空间限制。
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电子束曝光一种高分辨率的微细加工技术,广泛应用于纳米科技和半导体制造领域。其基本原理是利用聚焦的电子束在光刻胶上进行直接写入,通过改变光刻胶的化学性质来形成微纳米结构图案。上海纳腾仪器有限公司自主研发的电子束曝光机(Pharos系列产品), 具有高分辨率、 精准控制和高度自动化的优势, 被广泛应用于制备半导体芯片、 光子学元件和其他微纳米结构等领域, 是进行亚微米至纳米级曝光技术研发的理想工具。
1. SE series可执行Thermal-ALD,PEALD,与ALA等先进制程。 2. SE series具有高度的改造弹性,但其性能与稳定性并不因此而牺牲。 3. 原子层沉积系统设计具有便捷、稳定、再现性高的产品定位。
WinSPM EDU 系统荣获“全国教学仪器设备评比较好奖”,该奖项由国家教育装备委员会颁发,表彰其在纳米教育实验系统方面的创新设计、稳定性能和在全国高校广泛应用中的突出表现。
日本东宇 是业界知名的氮气发生器厂家,拥有30年丰富的销售经验及专业的售后支持团队。 日本京都的研发生产中心, 与合作实验室持续开发新机型。 在日本、 中国等多国取得多项技术专利。工厂通过ISO9001认证。
较为低的曲率半径:每根针经过质检; 较小探针差异:较为特加工工艺实现精准控制