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电子束曝光指利用聚焦电子束在光刻胶上制造图形的工艺 , 是光刻工艺的延伸应用 。 电子束曝光系统是实现电子束曝光 技术的硬件平台,系统的性能决定了曝光工艺关键尺寸、拼接和套刻精度等参数。
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