Product | Period | Line | Area | Etch depth (Si/quartz) |
Holes on Hexagonal Lattice | ||||
P350h_h_100d | 350nm | 100mm dia. | 200nm / 100nm | |
P450h_h_50d | 450nm | 50mm dia. | 350nm / 150nm | |
P520h_h_20w20 | 520nm | 20x20mm2 | 450nm / 200nm | |
P600h_h_46w46 | 600nm | 46x46mm2 | 450nm / 200nm | |
P600h_h_100d | 600nm | 100mm dia. | 450nm / 200nm | |
S2D-24D2-0808-150-P | 600nm | 180nm | 8×8.3mm | 150nm/- |
S2D-24D2-0808-350-P | 600nm | 180nm | 8×8.3mm | 350nm/- |
P750h_h_51w51 | 750nm | 51x51mm2 | 450nm / 200nm | |
P780h_h_20w20 | 780nm | 20x20mm2 | 450nm / 200nm | |
P780h_h_50d | 780nm | 50mm dia. | 450nm / 200nm | |
P870h_h_100d | 870nm | 100mm dia. | 550nm / 250nm | |
P1000h_h_20w20 | 1000nm | 20x20mm2 | 600nm / 300nm | |
P1000h_h_51w51 | 1000nm | 51x51mm2 | 600nm / 300nm | |
P1000h_h_100d | 1000nm | 100mm dia. | 600nm / 300nm | |
P1500h_h_20w20 | 1500nm | 20x20mm2 | 600nm / 300nm | |
P1500h_h_51w51 | 1500nm | 51x51mm2 | 600nm / 300nm | |
P1700h_h_100 | 1700mm | 100mm dia. | 600nm / 300nm | |
P2000h_h_100d | 2000mm | 100mm dia. | 800nm / 400nm | |
P3000h_h_100d | 3000nm | 100mm dia. | 1000nm / 400nm | |
P3500h_h_100d | 3500nm | 100mm dia. | 1200nm / 500nm | |
P5200h_h_100d | 5200nm | 100mm dia. | 1200nm / 500nm | |
Holes on Square Lattice | ||||
P125s_h_100d | 125nm | 100mm dia. | 100nm / -- | |
P200s_h_100d | 200nm | 100mm dia. | 200nm / 100nm | |
P350s_h_20w20 | 350nm | 20x20mm. | 300nm / 150nm | |
P350s_h_100d | 350nm | 100mm dia. | 300nm / 150nm | |
MAH100/100/400-30*30 | 400nm | 100nm | 30mm/40mm | 100nm/- |
MAH300/600/800-30*30 | 800nm | 300nm | 20mm/25mm | 600nm/- |
其他规格，详询，可定制
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将传统玻片数字化，进行存储与管理，可建立数字切片库，便于培训、分析、管理等，脱离时间、空间限制。
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电子束曝光一种高分辨率的微细加工技术，广泛应用于纳米科技和半导体制造领域。其基本原理是利用聚焦的电子束在光刻胶上进行直接写入，通过改变光刻胶的化学性质来形成微纳米结构图案。上海纳腾仪器有限公司自主研发的电子束曝光机（Pharos系列产品）， 具有高分辨率、 精准控制和高度自动化的优势， 被广泛应用于制备半导体芯片、 光子学元件和其他微纳米结构等领域， 是进行亚微米至纳米级曝光技术研发的理想工具。
1. SE series可执行Thermal-ALD，PEALD，与ALA等先进制程。 2. SE series具有高度的改造弹性，但其性能与稳定性并不因此而牺牲。 3. 原子层沉积系统设计具有便捷、稳定、再现性高的产品定位。
WinSPM EDU 系统荣获“全国教学仪器设备评比较好奖”,该奖项由国家教育装备委员会颁发，表彰其在纳米教育实验系统方面的创新设计、稳定性能和在全国高校广泛应用中的突出表现。
日本东宇 是业界知名的氮气发生器厂家,拥有30年丰富的销售经验及专业的售后支持团队。 日本京都的研发生产中心, 与合作实验室持续开发新机型。 在日本、 中国等多国取得多项技术专利。工厂通过ISO9001认证。
较为低的曲率半径：每根针经过质检； 较小探针差异：较为特加工工艺实现精准控制
营业执照已审核
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