原子力显微镜-全自动8寸样品解决方案Flex-Mount
原子力显微镜-12寸样品测量解决方案A300Flex
原子力显微镜-超便捷集成解决方案NaniteAFM
原子力显微镜-全自动8寸样品解决方案Flex-Mount
原子力显微镜-多功能科研型FlexAFM
原子力显微镜-多功能科研型FlexAFM
超大样品兼容性与工业级设计
突破尺寸限制：通过针尖扫描设计结合电动平移台，可无损测量任意尺寸、重量及形状的样品（包括曲面、非平面或超大型工件），解决了传统AFM“放不进、测不准”的工业难题。
高精度扫描头：基于FlexAFM研究级扫描头，配备挠性结构扫描器，提供XY方向100μm扫描范围，线性误差<0.1%，Z向噪音控制<35pm，确保纳米级分辨率。
全自动化与操作便捷性
智能化平移台：XYZ全自动移动控制，支持一键化操作，快速完成各种样品表面的二维和三维形貌测量。
双光学辅助系统：顶视与侧视双500万像素自动对焦摄像头，结合激光自动定位设计，实现更换探针后快速精 准定位，无需手动调节激光。
工业环境适应性
防震与稳定性：专为严苛工业环境设计，通过主动式防震结构抵御外界干扰，在半导体车间等场景中验证了长期可靠性。
模块化扩展：支持磁学、电学以及纳米操纵等高级功能。
多功能成像模式
支持静态力/动态力/相对比/磁力/静电力/开尔文探针/压电力等多种模式，兼容液体环境测试，适用于材料电学和力学样本的表征。
规格参数
24位ADC高速控制处理器
XYZ扫描器范围：100x100x10µm
噪声水平：< 35pm
样品尺寸： 8寸
移动范围：130mmx130mmx30mm
采样点：8000x8000
功能与选件：
相位
纳米压痕
静电力
开尔文
压电力
磁力
真空吸附
环境控制
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在纳米尺度研究领域，瑞士Nanosurf公司推出的DriveAFM原子力显微镜系统代表了当前尖端技术的巅峰之作。通过光热激振（CleanDrive）、直驱扫描（Direct Drive）和全电动控制三大核心技术的协同创新，DriveAFM彻底解决了传统AFM在精度、稳定性和跨环境兼容性上的固有瓶颈，为材料科学和生命科学研究提供了前所未有的高精度、高稳定性的研究平台。
FlexAFM是一款高度通用且灵活稳定的原子力显微镜，适用于物理、材料科学及生物科学等领域。它具有稳定的常规材料学应用性能，并能便捷地与倒置光学显微镜集成用于生物研究，或放置在手套箱中研究二维材料。FlexAFM支持多种操作模式和升级配件，具备高分辨率成像和探索样品地形的能力，尤其擅长处理敏感样品的电气特性，是全球众多科研人员的理想选择。此外，它还能与外部硬件集成，扩展研究功能。对于生命科学研究，FlexAFM能够与倒置显微镜联用，实现在液体环境中的纳米材料、生物分子或细胞研究。结合流体力学探针显微镜FluidFM技术，FlexAFM进一步解锁了单细胞生物学和纳米科学的新应用。
瑞士Nanosurf 原子力显微镜，专为工业级高精度与超大样品而设计，将科研级分辨率与工业兼容性深度融合，成为半导体量产、新材料研发及跨学科微观表征的强有力工具。
表面形貌是许多高科技材料表面的重要特性,其可能低至几纳米,表面粗糙度不到一纳米。原子力显微镜可以在正常环境条件下轻松分析这些特征。
Alphacen 300 原子力显微镜系统是一种独特的 AFM 解决方案，可以轻松处理大型和重型样品。它具有Flex-Mount扫描头，采用针尖扫描的设计方式，无论样品重量如何，都能实现高性能成像。配置的CX 控制器是 Nanosurf 最先进的 AFM 控制器，可快速精确地控制扫描过程，稳定成像。专用的隔音罩可减少外部噪音和振动的影响。同时，该系统还可以通过添加额外移动轴或旋转轴进行更复杂的定制，满足您的特定样品测试需求。
Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比，高真空测量具有准确度好、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点。
高精度探针针尖变量的亚埃米级表面粗糙度测量，晶圆的表面粗糙度对于确定半导体器件的性能是至关重要的，对于先进的元件制造商，芯片制造商和晶圆供应商都要求对晶圆商超平坦表面进行更精确的粗糙度控制。
对于工程师来说，识别介质/平面基底的纳米级缺陷的任务是一个非常耗时的过程，Park NX-HDM原子力显微镜系统可以自动缺陷识别，通过与各种光学仪器的联用可以提高缺陷检测效率。
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