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JKZC-DN系列增强型探针台
- 品牌：北京精科智创
- 型号： JKZC-DN
- 产地：北京 顺义区
- 供应商报价：￥1000
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北京精科智创科技发展有限公司
更新时间：2025-04-15 16:10:14 -
销售范围售全国
入驻年限第2年
营业执照已审核
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详细介绍
JKZC-DN系列增强型探针台
产品概要
JKZC-DN系列探针台是我司一款增强型晶圆测试探针台，可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台釆 用高刚性显微镜龙门结构，显微镜可X-Y-Z方向进行精密位移调节。卡盘具备上下调节功能,可以使探针与 样品快速分离，提高测试效率，在科研单位和半导体工厂都得到了广泛运用，配合对应的仪器仪表,可以完 成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆LED/LCD/太阳能电池行业的测试。此系列探针台可以实现1μm以上的Pad电极测试。
|技术特点
•显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降，保证高质量的光学成像；
•卡盘同时具备快速和微调升降，便于样品和探针快速分离，也可以加载探针卡；
•可升级性强，可升级卡盘360度快速移动，可升级光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。
详细参数
产品型号
JKZC-DN4
JKZC-DN6
JKZC-DN8
JKZC-DN12
技术参数
探针台台体
主体材料
航空铝
航空铝
航空铝
航空铝
整机尺寸（mm）
580L*480W*620H
630L*530W*620H
700L*580W*620H
800L*650W*620H
重量
50kg
60kg
80kg
120kg
自适应减震系统
自适应减震底座设计，可有效过滤环境中的震动源干扰
卡盘大小
4",360度转动，可微调
6",360度转动，可微调
8",360度转动，可微调
12",360度转动，可微调
卡盘XY5S行程
4"*4"，精度 10um
6"*6"，精度 lOurm
8"* 8"，精度
12"*12，精度 10um
卡盘Z轴行程
快速升降5mm,微调升降行程6mm,精度1微米
卡盘材质
不锈钢镀金，具备更小的接触电阻
卡盘吸附方式
真空吸附，可选择环形吸附或者多孔吸附（适用于薄片）
背电极测试功能
卡盘镀金，电学独立悬空，带2个4mm香蕉头插口，具备背电极功能
其它功能
带标准接地保护，可升级，ChJKZC-UCk360度快速移动（选件）
针座平台
材质
U型平台，Q235镀第带接地端子
大小
最多可放置4〜6个探针座 最多可放置8~10个探针座
■mkZB系统
显微镜类型
体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD成像系统
倍率范围
16X~200X/40X~280X/20X~4000X
显微镜行程
具备高刚性龙门架结构,XYZ行程分别为2英寸*2英寸*2英寸，精度lum
CCD成像系统
2k或者4K相机，帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能
探针座
种类
丝杆型/微分头型/经济型探针座
X-Y-Z行程
12.5mm-12.5mm-12.5mm
机械精度
0.5um/0.7um/2um
夹具
漏电精度 接口形式
同轴夹具10pA/三轴夹具lOOfA
同轴/三轴/SMA/香蕉头/鳄鱼夹/裸线等接口
其它
选件
ChJKZC-UCk360度快速移动/屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率
电力需求
220V/50HZ
沪公网安备 31011502008050号