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半导体缺陷检测 PULSAR系列

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详细介绍

 PULSAR L系列及PULSAR H系列是应用于电子、半导体工业领域的缺陷检测设备如WLP、PLP、晶圆制造前端工艺等,可实现从低分辨率到高分辨率的缺陷检测、分类、定位测量等功能。

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产品特点

  • 自主设计开发,拥有完全自主知识产权

  • 定位测量功能及缺陷检测功能

  • 高分辨率

  • 高数据率和高灵敏度图像处理系统

  • 高速并行的图像处理系统

  • 多功能可扩展的应用软件

 

产品参数

 

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