高端型HP100烤胶机|HP100-PE|Schwan Technology

技术参数：

1.硬质阳极氧化铝面板，面板尺寸：220mm*220mm，适合于8"圆晶底物烤胶
2.温度调节范围：室温至300℃，温度分辨率：0.1℃
3.7寸全彩触屏，高级PLC控制，控温精度达到±0.2℃
4.带顶升功能的接近烤胶模式，顶升高度范围：0-30mm可控，电动顶针高度分辨率：0.1mm
5.顶针可使用于直径或内切圆直径大于40mm的圆形或方形底物
6.1KW铸铝高均匀性发热部件，热板表面温度均匀性：工作区为±1%
7.可存贮100组烤胶配方，每个配方5个加热阶段，加热时间和顶针高度可调
8.外型尺寸：303(W)*446(D)*295(D)

9.热板表面带真空吸附功能，确保基片与热板表面紧密接触式烤胶
10.提供恒温模式和线性控温模式烤胶程序，可实现温度的线性加热和降温控制