SMC chiller温控器冰水机HRS090维修服务

SMC chiller温控器冰水机HRS090维修服务

主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度控制，具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

SMC chiller温控器冰水机HRS090维修服务

提供相关维修服务。主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度控制，具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

SMC chiller温控器冰水机HRS090维修服务

制冷剂充注，水泵维修，系统检漏，改造翻新等服务

冰水机及热交换机 维修的类别
泵体、管路发生的泄露、流量小、冷却力、加热力的下降，温度无法调节等，按照客户遇到问题时提出的要求，进行维修。
1. 水泵泵体，卡住，异响，振动大
2. 冷冻机，无法制冷，管道堵塞，跳电
3. 维修热交换器、加热器

4.制冷剂充注，水泵维修，系统检漏，改造翻新等服务

SMC chiller温控器冰水机HRS090维修服务

应用于半导体行业蚀刻装置，CMP（工艺机械抛光）， 实验室精密装置、 高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。

变频控制，智能PID控制
预测控制及自适应控制
模块化功能定制，高效节能
两级闭环节能控制