产品介绍：
等离子体线性离子束专利
Denton Vacuum的线性高能射频等离子体离子源技术zui近获准美国专利号10,815,570。该源设计为大面积无灯丝源，与高吞吐量直列式溅射系统完全兼容。
该源受专利保护的独特功能包括：
- 独立控制离子电流密度和离子能量的等离子体离子源
- 可自中和的等离子体离子束
- 矩形构造
线性离子源的优势
Denton 的线性离子源提供安全的化学成分丶高离子通量密度和可调节的离子能量。由于对离子电流密度和能量拥有完全控制，使单一源可生产多层膜。自中和组分降低了薄膜沉积过程中的污染机会，有助于提高薄膜质量，同时增加正常运行时间。
根据吞吐量要求，线性离子源在直列式和滚筒式配置中均可使用。由于等离子体离子束参数的扩展可调性，Denton的线性离子源提供了减少所需源数量的特殊功能，zui大限度地降低了成本支出和维护要求。
通过这种线性离子源的设计，制造商可以更好地为需求快速增长的应用提供高质量薄膜，包括可折叠OLED显示屏丶类金刚石纳米复合涂层和硬质抗反射涂层。
报价：面议
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报价：面议
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报价：面议
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