FR-Mic全自动带显微镜多点测量

       FR-Mic多层膜厚度测试仪是一款快速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案，可以将光斑缩小到几个微米，进而分析微小区域或者粗糙表面薄膜特征。它可以配备一台专用计算机控 制的 XY 工作台，使其快 速、方便和准确地描绘样品的厚度和光学特性 。也可以搭配自动平台测量 400x400mm 大小样品。

　　Thetametrisis利用 FR-Mic，通过紫外/ 可见/ 近红外可轻易对局部区域薄膜厚度，厚度映射，光学常数，反射率，折射率及消光系数进行测量。

　　【相关应用】

　　高校 & 研究所实验室

　　半导体制造 (氧化物/氮化物， 硅膜, 光刻胶及其他半导体薄膜.)

　　MEMS 器件 (光刻胶, 硅膜等.)

　　LEDs, VCSELs 多层膜测量应用

　　数据存储

　　阳极处理氧化膜

　　曲面基底的硬化涂层

　　聚合物膜层, 粘合剂.

　　生 物医学(聚对二甲苯, 生物膜/气泡壁厚度.)

　　OEM或客制化应用

　　【特点】

　　实时光谱测量

　　薄膜厚度，光学特性，非均匀性测量， 厚度映射

　　使用集成 USB 高品质彩色摄像机进行成像 (所視即所測)

      1、规格如有更改，恕不另行通知；

　　2、测量结果与校准的光谱椭偏仪和 XRD 相比较,

　　3、连续 15 天测量的标准方差平均值。样品：(1um SiO2 on Si.) ,

　　4、100 次厚度测量的标准方差，样品：1um SiO2 on Si.

　　5、超过 15 天的标准偏差日平均值样品：1um SiO2 on Si。

　　6、使用反射式物鏡。