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中外合作仁荷微电子质量流量控制器MF-100C

为您推荐
中外合作仁荷微电子质量流量控制器MF-100C 核心参数
测量范围: 2~100%满量程 准确度: ±1%F.S(Full Scale)
介质温度: 0-50 工作压力: 真空直至100bar
详细介绍


本公司为中韩合作的国内研发生产厂商,相比国外品牌交货周期短 所需成本低 优质的性能极具性价比

产品为定制产品(可特殊定制)价格需电议

山西仁荷微电子科技有限公司主要生产INHA气体质量流量控制器,气体流量计。 本公司生产的气体质量流量控制器广泛应用工业气体、石油、化工、医疗、电子及微电子、半导体、太阳能光伏、各类实验室、研究所、生物医药、标准检测等各类高新技术领域。如:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。

产品优势

 本公司为国内研发生产厂商,相比国外品牌交货周期短 所需成本低 优质的性能极具性价比

 本公司自主开发研制的产品具有抗干扰能力强,测量精度高、量程比大、工作稳定可靠、对安装要求低、对流体状态要求低,压力损失小等优点,且易清洗、具备自排空功能;其基本技术指标已达到国际先进水平,可直接用来测量管道中介质的质量流量及总量、体积流量及总量、介质的密度、温度、溶液的浓度以及较均匀混合的两种液体各自的浓度等参数。 每台传感器都由不锈钢材料制造变送器的多种输出能满足您的各种需求。


MF系列产品

MF-50/100/200C   MF-100M 200M

MF系列特点

有很宽的工作压力范围,产品可以从真空直到10Mpa;本产品可以使用多种气体介质(包括一些腐蚀性气体);有很宽的流量范围,产品最小流量范围可达0~10sccm,最大流量范围可达0~30slpm。流量控制范围是满量程的2~100%(量程比为50:1)。
——耐高压(最大工作压力可达100bar)
——响应时间快≤1sec
——准确率高
——稳定的流量控制
——压力范围广

——尺寸小
——连接方便,快拆快拧
——交货周期短
——优惠的价格极具性价比

——模拟输入输出接口(0-5Vdc或4-20mA可选)
——连接尺寸与其他标准质量流量器兼容

主要技术指标:

编号 项目 MF-100C MF-100M
1 流量规格(N2) 10sccm~30slpm
2 准确度 ±1%F.S(Full Scale)
3 重复精度 ±0.25%F.S(Full Scale)
4 响应时间 ≤2sec(特别要求时: ≤1sec)
5 耐压 ≤90bar
6 工作环境温度 0℃~50℃
7 输入输出信号 0~5V 0~5V or 4~20mA
8 供电 +15Vdc or +24Vdc 350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范围 2~100%满量程

公司电话:0354-3998189  我的联系方式:田经理 18234418230   email:1939255606@qq.com 

  公司网址:http://www.inha.tech  微信关注:1082832720.jpg







工作原理:
•流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
•将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
•分流器决定主通道的流量。
•与之配套的流量显示仪上设置有稳定电源,3位半数字电压表,设定电位器,外设、内设转换和三位阀控开关等。
•控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比,满量程(F.S)流量检测输出电+5V。气体质量流量控制器的流量控制范围是(2~100)%F.S(程比为50:1)

如图:




结构:

气体质量流量计由流量传感器(Sensor),分流器通道和流量放大电路等部件组成;在气体质量流量计的基础上,再加上调节阀门和PID控制电路就构成了气体质量流量控制器。


用途和特点:

   气体质量流量控制器(MFC)在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括:电子工艺设备,如:氧化、CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、以及微反应装置、混气配气系统、真空镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪及其他分析仪器。



技术问答:


什么是质量流量计?什么是质量流量控制器?
质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
什么情况下用质量流量计, 什么情况下用质量流量控制器 ? 
一般而言,仅对流量进行计量或监测时,用质量流量计;需要对流量进行控制时,用质量流量控制器。某些测量场合,用二者皆可,如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候, 用质量流量计; 当定流测压时, 需要用质量流量控制器。注意, 当质量流量控制器处于清洗状态时, 也可以当质量流量计使用, 只不过气压降要比普通质量流量计大一些。
5.  质量流量计 / 质量流量控制器的主要优点是什么? 
(1)  流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计 / 质量流量控制器,则一般可以忽略不计。
(2)  测量控制的自动化
质量流量计 / 质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。
(3)  精确地定量控制流量
质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用 
 
选择产品和订货时应当注意什么?
这一点关系到用户的切身利益,涉及的问题也比较多,因而我们尽可能地给以祥尽﹑客观的回答。
(1) 注意选择正确的品牌
一般应当全面衡量生产厂家的产品质量﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素。
(2) 注意选择正确的量程
A. 将您需要的流量换算成标准状态下的流量(质量流量)。
B. 根据厂家提供的质量流量转换系数表,将您所用气体的质量流量值换算成与氮气(标定气体)等价的质量流量值。如果您希望按您实际使用的气体标定,请向厂家说明。有关质量流量转换系数的问题,以下还有进一步解答。 
C. 确定所需标准量程。厂家一般有自己的各种规格的标准量程,您实际使用的流量最大值应接低于某个标准量程值。标准量程的选取要避免过大或过小。质量流量的误差指标是按满量程值的百分比规定的,如果实际流量较小而量程值选取过大,则测量值的相对误差较大。 
(3) 注意选择正确的工作压力指标
不同的产品工作压力指标可能不同,注意选择适合自己的产品。
质量流量控制器(MFC)除最大工作压力之外,还有另一项工作压力指标:工作压差,即MFC进气端和出气端之间的压差,选型时要注意,使用时也要注意。
(4) 注意选择合适的精度指标
准确度﹑线性﹑重复精度是比较重要的几项指标,其中重复精度在很多应用场合尤为重要。指标不一定追求最高,应考虑自己的实际需要。
如果对厂家给出的指标不放心,有条件的用户也可以自己标定一下。标定的方法参见下面的有关内容。
(5) 注意选择合适的响应时间指标
有的应用系统对MFC的响应时间有较高的要求,用户应根据自己的情况加以考虑。在考虑响应时间指标的同时,还应注意其响应过程及动态特性。
(6) 注意对安装位置有无要求
有的厂家的产品要求必须水平位置安装。
(7) 注意使用气体和适用范围
MFM/MFC 对使用的环境及介质温度﹑气源压力﹑介质(特别是使用对腐蚀性气体)情况等均有一定适用范围,请注意阅读说明书或向厂家咨询。
(8) 注意接头形式
通常有双卡套(Swagelok)和VCR两种接头可以选择, VCR接头性能更好适合于高端应用。
(9) 订货应注明:
产品名称、型号、流量规格、标定气体、使用气体(特别是腐蚀性气体)、接头形式和数量


产品优势
本公司为国内研发生产厂商,相比国外品牌交货周期短 所需成本低 优质的性能极具性价比
本公司产品具有抗干扰能力强,测量精度高、量程比大、工作稳定可靠、对安装要求低、对流体状态要求低,压力损失小等优点,且易清洗、具备自排空功能;其基本技术指标已达到国际先进水平,可直接用来测量管道中介质的质量流量及总量、体积流量及总量、介质的密度、温度、溶液的浓度以及较均匀混合的两种液体各自的浓度等参数。 每台传感器都由不锈钢材料制造,变送器的多种输出能满足您的各种需求。
产品直通车
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