三线摆气浮隔振平台

层流阻尼技术大大提高阻尼效率，混合腔设计极大增加给定的尺寸下的柔性体积， 同时有效降低了固有频率（台面可选配 TMD 调谐质量阻尼器，详见右图）

• 高性能气动减振器，共振频率ZD 1Hz
• 混合腔设计ZD程度的提高了工作稳定性与极低的固有频率
• 支腿顶部配有安全连接件，大大提升安全性
• 微米级层流阻尼
• SMC 纳米级高流量气动执行元件
• 三线摆设计ZD程度的隔离振动并在受到干扰后实现高精度复位
• 顶部调节装置可轻松完成 ±10mm 调节
• 固有频率：垂直＜ 1.0-1.5Hz；

水平＜ 1.0-1.5Hz（同实际负载相关）垂直共振低至 1Hz

• 振幅：＜ 0.002
• 调节方式：自动定心
• 减振效率：垂直：5Hz 时：85-90％；10Hz 时：91-96％ 水平：5Hz 时：

87-92％；10Hz 时：92-97％

• 工作复位精度：±0.1mm
• 隔振方式 : 三线摆杆、混合腔结构
• 阻尼方式：微米级层流阻尼
• 气源：标配静音空气压缩机；噪音：52db