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薄膜热电参数测试系统（MRS）
- 品牌：武汉嘉仪通
- 型号： MRS
- 产地：武汉
- 供应商报价： 面议
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武汉嘉仪通科技有限公司
更新时间：2019-07-10 15:47:44 -
企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 详细介绍
薄膜热电参数测试系统产品特点
专门针对薄膜材料的Seebeck系数和电阻率测量。
测试环境温度范围达到81K~700K。
采用动态法测量Seebeck系数，避免了静态测量在温差测量上的系统误差，测量更准确。
采用四线法测量电阻率。
热电偶探针经过严格的筛选配对保证测试结果的准确和稳定。
软件操作简单，智能化可实现全自动模式。
薄膜热电参数测试系统技术参数
型号
MRS-3
MRS-3RT
环境温度
81K~700K
RT
温控方式
PID程序控制
\
真空度
≤ 1Pa
\
测试气氛
真空
空气
测量范围
泽贝克系数：S ≥ 8µV/K； 电阻率：0.1µΩ•m ~ 1000KµΩ•m
分辨率
泽贝克系数：0.05µV/K； 电阻率：0.05µΩ•m
相对误差
泽贝克系数 ≤ 7%，电阻率 ≤ 5%
测量模式
自动
样品尺寸
长 x 宽:(10~18)x(4~14)mm2,薄膜厚度≥50nm
主机尺寸
采集箱：470x400x140，单位mm
变温装置：直径x高 460x800mm170x250x220，单位mm
重量
31.9kg
3.5kg
薄膜热电参数测试系统样品要求
样品满足上述样品尺寸，待测面需平整，薄膜均匀性好，保证与铜片接触良好
薄膜材料厚度zuidi可至100nm，其均匀性有较高要求，薄膜厚度达到微米级别较好
薄膜材料的衬底需选择电阻率较大或绝缘材料为宜，如玻璃、Si等材料
薄膜热电参数测试系统技术原理
动态法：测量Seebeck系数
在待测温场下给样品两端加一个连续变化的微小温差，通过记录样品两端温差和热电势的变化，然后将温差和热电势拟合成一条直线，直线斜率即为该材料在该温场下的Seebeck系数。
采用四线法测量电阻率。
薄膜热电参数测试系统测试实例
标准镍带测试结果
东华大学MoS2测试结果
MRS-3对Bi2Te3薄膜测试结果（ZG科学院电工研究所提供样品）
MRS-3对Bi2Te3薄膜测试结果（ZG科学院电工研究所提供样品）
- 产品优势
- 薄膜热电参数测试系统是专门针对薄膜材料的Seebeck系数和电阻率测量，测温范围达到81K~700K，采用动态法测量Seebeck系数,避免了静态测量在温差测量上的系统误差,测量更准确。
