等離子塗怖裝置

住友重工利用等离子技术研制出了新的离子镀方法。
这种离子镀方法，可以在大面积上获得均一的膜，
这是以往的成膜法无法实现的技术。
目前，住友重工正在关注平板显示器的透明导电膜(ITO)的成膜技术，正在研发能替代以往的溅射装置的商用生产机械。
作为成膜材料，除了这个透明导电膜(ITO)，
Si、Mg、C、Ti、Cr等金属，乃至这些的氧化物、
氮化物及炭化物等的合金的成膜均有可能，
我们将积极地策划技术的应用开展。