反射高能电子衍射仪是MBE制程的一部分。在薄膜沉积过程中，RHEED给客户提供了重要的信息。

首先，RHEED图像表征样品表面的状态。

其次，其强度震荡可以提供生长速率的量化数据。

RHEED提供了清晰的焦点，以及衍射图样，并能够在屏幕上高亮度显示。

电子光学部件有磁性保护罩，便于提高操作性。

可选部件：RHEED图像分析硬件和软件系统，可以实时获取RHEED图样，使用户便于观察和控制薄膜生长质量。完整的RHEED系统包括 10KeV RHEED电子束源，电源及配套光缆。

技术参数：

RHEED Electron Source
2.75"和4" 法兰
RHEED Power Supply
RHEED Image Analysis Software
高分辨CCD 或相机
实时分析
2D/3D分析
RHEED Optional Components

主要特点：

实时检测外延生长

测量薄膜生长速率

单晶薄膜的生中速率测量

光学部件带有磁性罩