伯东公司授权代理德国普发Pfeiffer双级旋片真空泵 Pascal SD 系列适合无腐蚀性气体的真空应用,低回流率,自然润滑设计保证无油雾污染(在抽速5-21 m3/h).双级旋片真空泵抽速范围:5-63 m3/h.紧凑设计易集成在系统中,可调进气口和排气口端口,适合水平或垂直方向安装,特别适合OEM.送旋片真空泵专用矿物油. 双级旋片真空泵可选一相/三相马达,伯东公司根据客户实际需要选型并提供完善的售后维修服务.
Adixen 双级旋片真空泵 Pascal SD 系列技术参数：
型号 | 进气法兰 | 排气法兰 | 抽速 | 旋片真空泵 | 气镇阀 | 重量 |
2005 SD | DN 25 | DN 25 | 50 HZ 5 m3h | 5x10-4 hPa | 10 hPa | 25 |
2010 SD | DN 25 | DN 25 | 50 HZ 9 m3h | 5x10-4 hPa | 10 hPa | 26 |
2015 SD | DN 25 | DN 25 | 50 HZ 14 m3h | 5x10-4 hPa | 10 hPa | 27 |
2021 SD | DN 25 | DN 25 | 50 HZ 18 m3h | 5x10-4 hPa | 10 hPa | 28 |
2033 SD | DN 40 | DN 40 | 50 HZ 30 m3h | 1x10-3 hPa | 0.02 hPa | 69 |
2063 SD | DN 40 | DN 40 | 50 HZ 56 m3h | 1x10-3 hPa | 0.02 hPa | 103.5 |
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双级旋片真空泵 Pascal 2005 双级旋片真空泵 Pascal 2063
伯东公司 主要经营产品 德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的 真空测量(真空计, 真空规管); 氦质谱检漏仪；质谱分析仪；真空系统以及 Cryopump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源.
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润滑油
伯东公司日本原装设计制造离子蚀刻机 IBE. 提供微米级刻蚀, 均匀性: ≤±5%, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料, 黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
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上海伯东日本原装进口适合小规模量产使用和实验室研究的离子蚀刻机, 一般通氩气 Ar, 内部使用美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 产生轰击离子; 终点检出器采用 Pfeiffer 残余质谱监测当前气体成分, 判断刻蚀情况.
Aston™ 特性 实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝 半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据 采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用 可与大批量生产工具完全集成 Aston™ 作为一个强大的平台, 可以取代多种传统工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.
氦质谱检漏仪 ASM 340 优点 1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h 2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s 3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的Z小检测漏率： 真空模式: 5E-13 Pa m3/s 吸枪模式: 5E-10 Pa m3/s 目前业界公认Z小漏律 4. 移动式操作面板（有线, 无线） 5. 集成 SD卡, 方便资料处理 6. 抗破大气, 抗震动, 降低由操作失误带来的风险性 7. 丰富的可选配件, 如吸枪, 遥控器, 小推车, 旁路装置, 标准漏孔等 8. 检测时间短
氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势: 1. 强大的抽空能力 2. 极短的测试时间, 3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸 4. 符合人体工学设计, 移动性强 5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 完全符合 Semi S2 标准 6. 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求极高的应用
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