TMC 有源磁场抵消系统Mag-NetX，森泉光电

TMC隔振产品手册

震动环境测试、主动、被动、主被动隔振平台、隔振支腿、隔磁系统

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主动隔振系统在研究实验室中的重要性

什么是主动隔振系统，这些系统是如何使用的? 主动隔振可以Z好地描述为“主动”消除机械振动而不仅仅是响应或过滤振动的隔振系统。主动隔离利用惯性传感器监测振动，并通过反馈和/或前馈控制回路处理该信号，然后驱动致动器，从而减轻测量到的振动。

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提供一站式、多对比、高精度的现场环境调查测试

大多数先进的超精密仪器制造商在其仪器的安装手册中还会规定其使用环境"noise" 合格标准。为了使这些精密仪器高效工作，通常精密仪器的制造厂家会要求使用地点必须满足声学噪声、地面振动或磁场的参数要求。例如，SEM、TEM电子显微镜、半导体计量工具和核磁共振光谱仪等等都有相关的环境参数要求。 这种"noise" 的来源各不相同，可能是附近公路铁路交通、电梯、建筑、附近的人类活动引起的，也可能是因为不满足特定设备需求的建筑设计等。"noise"环境噪声必须通过测量、分析才能得出，然后将其与制造商的规范进行比较来确定安装地点是否适合。如果地点环境不合适，那么就必须通过振动、噪音或磁场消除系统来将环境扰动消除至制造商所要求的规范内。 森泉光电有十余年环境测量分析和现场环境调查报告的经验。拥有全套的振动/磁场/声学噪音测量设备，可提供一站式、多对比、高精度的现场环境调查测试，让客户全方位地了解实验室的现场环境情况，并可以获得专业的针对性环境"noise" 降低方案：

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TMC Mag-NetX 主动式消磁框架系统

TMC Mag-NetX 主动式消磁框架系统，是TMC 公司凭借多年在控制工程领域和电子装配制造技 术经验，专为电子扫描显微镜等电磁场敏感仪器而研发的磁场消除系统。 在SEM 的使用环境里，不可避免的会遇到附近的仪器设备、电梯、输电线、地铁等所产生的电 磁场，从而影响到SEM 的成像质量和量测精度。Mag-NetX 主动侦测仪器周边的磁场环境，实时产 生一个等量且反向的磁场。Mag-NetX 是一个全方位的3 轴磁场消除系统，包含一个具备自动校准和 自检功能的专用控制器，交流和直流磁传感器，一个框架结构的亥姆霍兹线圈。这样的框架结构可 以提供ZY的磁场隔离对称性和均匀性。 Mag-NetX 主动式消磁框架系统的框架可以根据仪器规格、现场情况、客户要求等设计制作成不 同的尺寸。

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什么时候使用主动隔振系统？哪种方法更适合您的应用程序？（第四部分）

主动系统隔振|本章节将帮助工程师和科学家对主动隔振系统有一个大致的了解，它们是如何工作的，什么时候应该应用，以及它们有什么限制。由于半导体制造业在这一领域出现了许多应用，因此得到了特别的关注。

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