美国Trek 646 静电卡盘电源

Trek 646 软件驱动型静电吸盘电源具有一系列功能，可满足各种要求苛刻的应用。该仪器采用 Advanced Energy 技术，其效率和通量是其他备件的三倍。Trek 646 具有多功能、值得信赖的性能，可用于多种独特的工具和工艺，无需为设施中的每个独特工具或工艺指定新的供应。

产品亮点

可锁定的前面板控制界面

每台设备均提供 NIST 可追溯校准证书

支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技术

将静电吸盘轮廓上传并存储到装置中，并通过用户友好的软件界面进行内部存储

晶圆检测包括无晶圆、晶圆存在或晶圆夹紧状态

减少背面气体错误，提高吞吐量，并消除晶圆粘滞/爆裂问题

控制参数，如过流、晶圆存在和晶圆箝位阈值、箝位电压、偏移电压和内部或外部幅度/偏移控制

调整过程中的振幅/偏移和输出控制的多功能性

使用后面板 I/O、串行计算机命令或前面板控件控制输出

配置自定义夹紧和夹紧序列和波形

产品规格