瑞士idonus静电卡盘

静电卡盘能够通过静电力将多个芯片以及晶片的部件夹在晶片夹持器上。
这种设备对于研发机构来说非常有用，在完整的晶片上工作并不总是可能的。芯片的静电夹持允许在HF蒸气释放之前对MEMS晶片执行苛刻的切割工艺。通过修改经典的制造顺序，可以制造出具有极软悬浮的MEMS器件。
静电卡盘的使用非常简单。芯片被放在晶片夹持器上，控制器盒上的开关打开电力。静电力可调。