Filmetrics F20 单点便携式膜厚仪
台式厚度测试仪 机械接触式膜厚仪 膜厚仪
NS-30 系列 (桌面式自动膜厚仪)
Filmetrics F60-t 自动膜厚仪
测厚仪膜厚仪 台式测厚仪
KLA-Tencor先进的探针式台阶仪,可精确测量纳米级至2毫米台阶高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力,集高测量精度、多功能性和经济性于一体,是生产线及材料分析等应用领域的理想选择。因其具有6.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率,是目前商业化仪器里(经市场验证)特别高精度的台阶仪产品。

KLA-Tencor AlphaStep轮廓仪配置自动台,采用了新型光学反射探测系统来测量高度,同时应用电磁力控制探针压力,能有效的实现超微力和低惯量 。这些创新型使表面轮廓仪能够无伤测量软薄膜样品。


P-7探针式轮廓仪可靠的测量性能提供了行业先进的测量重复性。自动样品台,闭环自动移动范围150mmx150mm,是市场上具有长扫描能力的探针式轮廓仪。UltraLite®传感器包括动力控制、优良的线性度和垂直分辨率,使其成为表面测量系统中抢手的传感器。


报价:面议
已咨询653次台阶仪 膜厚仪
报价:面议
已咨询3615次台阶仪
报价:面议
已咨询6286次台阶仪
报价:面议
已咨询591次D系列
报价:面议
已咨询376次D系列
报价:面议
已咨询452次AFM-In-SEM
报价:面议
已咨询3123次台阶仪
报价:面议
已咨询2603次台阶仪
P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了好的性价比。
KLA先进的探针式台阶仪Alpha-Step D-600,可测量纳米级至1200um台阶高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率
Alpha-Step D-300 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量,大垂直范围和低触力测量功能。
Alpha-Step D-500 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量,大垂直范围和低触力测量功能。
P-17是第八代台式探针轮廓仪。该系统领先业界,支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。
Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪能够测量从几纳米到 1200微米的2D和3D台阶高度。D-600 还支持2D和3D的粗糙度测量,以及用于研发和生产环节的2D翘曲度和应力测量。D-600 包含一个带有200 毫米样品载台的电动样品台和具有增强影像控制的高级光学器件。
台阶高度:几纳米至1200μm 低触力:0.03至15mg 视频:500万像素高分辨率彩色摄像头 梯形失真校正:消除侧视光学系统引起的失真 圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差 紧凑尺寸:小占地面积的台式探针式轮廓仪 主要应用 台阶高度:2D台阶高度 纹理:2D粗糙度和波纹度 形式:2D翘曲和形状 应力:2D薄膜应力 应用领域 大学,研究实验室和研究所 半导体和复合半导体 SIMS:二次离子质谱 LED:发光二极管 太阳能 MEMS:微电子机械系统 汽车 医疗设备