Filmetrics F20 经济实用型单点膜厚仪
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Filmetrics F60-t 自动膜厚仪

Filmetrics F60-t 自动膜厚仪产品介绍:
Filmetrics F60-t 自动膜厚仪就像我们的F50自动膜厚仪产品一样。主要测绘薄膜厚度和折射率。但它增加了许多用于生产环境的功能。这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机,以及可以升级到全自动化晶圆传输的机型。
Filmetrics F60-t 自动膜厚仪特点优势:
自动化薄膜厚度绘图系统,快速定位、实时获得结果;
可测样品膜层:基本上光滑的。非金属的薄膜都可以测量;
所有系统皆使用直观的标准分析软件;
凹槽自动检测
自动基准确定
全封闭测量平台
Filmetrics F60-t 自动膜厚仪产品测量原理:
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(越多的震荡代表越大的厚度),同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。

Filmetrics F60-t 自动膜厚仪产品应用:
半导体膜层 | 显示技术 | 消费电子 | 派瑞林 |
光刻胶 | OLED | 防水涂层 | 电子产品/电路板 |
介电层 | ITO和TCOs | 射频识别 | 磁性材料 |
砷化镓 | 空气盒厚 | 太阳能电池 | 医学器械 |
微机电系统 | PVD和CVD | 铝制外壳阳极膜 | 硅橡胶 |
Filmetrics F60-t 自动膜厚仪产品参数:
波长范围: | 190nm-1340nm | 光源: | 钨卤素灯 |
光斑大小: | 标准1.5毫米(最小可达150μm) | 测量精度: | 0.02nm |
准确度*:取较大者 | 1nm或0.2% | 稳定性: | 0.05nm |
更多参数可联系我们获取 | |||
Filmetrics F60-t 自动膜厚仪测量图:


上传人:优尼康科技有限公司
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Filmetrics F50 全自动Mapping薄膜厚度测量系统 依靠光谱测量系统,可以简单且快速地获得直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台,可以快速的定位所需测试的点并测试厚度,测试非常快速,大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。Filmetrics F50 全自动Mapping薄膜厚度测量系统 配置精度高使用寿命长的移动平台,以求能够做成千上万次测量。
Filmetrics F60-t 自动膜厚仪就像我们的F50自动膜厚仪产品一样。主要测绘薄膜厚度和折射率。但它增加了许多用于生产环境的功能。这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机,以及可以升级到全自动化晶圆传输的机型。
Filmetrics F32 四通道在线式膜厚仪特殊的光谱分析系统采用半宽的3u rack- mount底盘,加上附加的分光计,可达到四个不同的位置(EXR和UVX版本至多两个位置)。F32膜厚仪软件可以通过数字I/O或主机软件来控制启动/停止/复位测量。测量数据可以自动导出到主机软件中进行统计过程控制。还提供可选的透镜组件,以便于集成到现有的生产装置上。
无论您是想要知道薄膜厚度、光学常数,还是想要知道材料的反射率和透过率,Filmetrics F20 单点便携式膜厚仪都能满足您的需要。仅需花费几分钟完成安装,通过USB连接电脑,设备就可以在数秒内得到测量结果。基于模块化设计的特点,Filmetrics F20 单点便携式膜厚仪适用于各种应用。
Filmetrics F54-XY-200 全自动Mapping膜厚分布测量系统,可以测量尺寸达200 x 200mm样品的薄膜厚度电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供厚度测量,达到每秒两点。您可以从数十种预定义的极性,矩形或线性测量坐标图案中选择,也可以创建自己编辑的测量点数量。此桌面系统只需几分钟即可完成设置,任何具有基本计算机技能的人都可以使用。