Filmetrics F20 经济实用型单点膜厚仪
Filmetrics F54-XYT-300 全自动Mapping膜厚分布测量系统
Filmetrics F54-XY-200 全自动Mapping膜厚分布测量系统
Filmetrics F20 单点便携式膜厚仪
Filmetrics F40 显微集成式微小光斑膜厚仪
Filmetrics F32 四通道在线式膜厚仪

Filmetrics F32 四通道在线式膜厚仪产品介绍:
Filmetrics F32 四通道在线式膜厚仪特殊的光谱分析系统采用半宽的3u rack- mount底盘,加上附加的分光计,可达到四个不同的位置(EXR和UVX版本至多两个位置)。F32膜厚仪软件可以通过数字I/O或主机软件来控制启动/停止/复位测量。测量数据可以自动导出到主机软件中进行统计过程控制。还提供可选的透镜组件,以便于集成到现有的生产装置上。
Filmetrics F32 四通道在线式膜厚仪产品特点优势:
非接触测量:避免损伤薄膜,适用于脆弱或敏感材料;
高精度与宽量程&:垂直分辨率达纳米级,可测厚度范围从1nm至3mm;
多场景适用性:基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测量。
测量速度快:配置完成后,数秒内即可完成测量。
预装了100多种材料,使得单层和多层薄膜的测量很容易实现
提供可选的透镜组件,以便于集成到现有的生产装置上。
Filmetrics F32 四通道在线式膜厚仪产品测量原理:
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(越多的震荡代表越大的厚度),同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。

Filmetrics F32 四通道在线式膜厚仪产应用与膜层范例:
薄膜特性:厚度、反射率、透射率、光学常数、均匀性、刻蚀量等
薄膜种类:透明及半透明薄膜,常见如氧化物、聚合物甚至空气
薄膜状态:固态、液态和气态薄膜都可以测量
薄膜结构:单层膜、多层膜;平面、曲面
Filmetrics F32 四通道在线式膜厚仪产品常见工业应用:
半导体膜层 | 显示技术 | 消费电子 | 派瑞林 |
光刻胶 | OLED | 防水涂层 | 电子产品/电路板 |
介电层 | ITO和TCOs | 射频识别 | 磁性材料 |
砷化镓 | 空气盒厚 | 太阳能电池 | 医学器械 |
微机电系统 | PVD和CVD | 铝制外壳阳极膜 | 硅橡胶 |
Filmetrics F32 四通道在线式膜厚仪产品参数:
波长范围: | 380-1050nm | 光源: | 卤素灯 |
厚度测量范围: | 15nm-70um | 测量精度: | 0.02nm |
光斑大小: | 探头距样品距离0.007倍 | 样品台尺寸: | 1mm-300mm |
Filmetrics F32 四通道在线式膜厚仪测量图:


上传人:优尼康科技有限公司
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Filmetrics F54 微区自动测量系统能以一个电动R-Theta平台自动移动到选定的测量点以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度, 样品直径达450毫米,可选择数十种内建之同心圆,矩形,或线性图案模式,或自行建立无数量限制之测量点.只需具备基本电脑技能,就可在数分钟内自行建立配方。
Filmetrics F50 全自动Mapping薄膜厚度测量系统 依靠光谱测量系统,可以简单且快速地获得直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台,可以快速的定位所需测试的点并测试厚度,测试非常快速,大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。Filmetrics F50 全自动Mapping薄膜厚度测量系统 配置精度高使用寿命长的移动平台,以求能够做成千上万次测量。
Filmetrics F60-t 自动膜厚仪就像我们的F50自动膜厚仪产品一样。主要测绘薄膜厚度和折射率。但它增加了许多用于生产环境的功能。这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机,以及可以升级到全自动化晶圆传输的机型。
Filmetrics F32 四通道在线式膜厚仪特殊的光谱分析系统采用半宽的3u rack- mount底盘,加上附加的分光计,可达到四个不同的位置(EXR和UVX版本至多两个位置)。F32膜厚仪软件可以通过数字I/O或主机软件来控制启动/停止/复位测量。测量数据可以自动导出到主机软件中进行统计过程控制。还提供可选的透镜组件,以便于集成到现有的生产装置上。
无论您是想要知道薄膜厚度、光学常数,还是想要知道材料的反射率和透过率,Filmetrics F20 单点便携式膜厚仪都能满足您的需要。仅需花费几分钟完成安装,通过USB连接电脑,设备就可以在数秒内得到测量结果。基于模块化设计的特点,Filmetrics F20 单点便携式膜厚仪适用于各种应用。
Filmetrics F54-XY-200 全自动Mapping膜厚分布测量系统,可以测量尺寸达200 x 200mm样品的薄膜厚度电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供厚度测量,达到每秒两点。您可以从数十种预定义的极性,矩形或线性测量坐标图案中选择,也可以创建自己编辑的测量点数量。此桌面系统只需几分钟即可完成设置,任何具有基本计算机技能的人都可以使用。