作为一位失效分析工程师,您的任务是提供结果。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20这台大型样品原子力显微镜,凭借着出色的数据准确性,在半导体和硬盘行业中大受赞扬。
Park NX20可轻易找出仪器失效的原因并帮助制定出更多具有创意的解决方案。无与伦比的精密度为您带来高分辨率数据,让您能够更加专注于工作。与此同时,True Non-Contact™扫描模式让探针更锋利、更耐久,无需为频繁更换而耗费大量的时间和金钱。
Park NX20拥有便捷的设计和自动界面,让你在使用时无需花费大量的时间和精力。借助这一系列特点,您可以更加专注于解决更为重大的问题并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析。
技术信息
NX20的创新构造让您可以检测样品的侧壁和表面,并能够测量角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必备的。

表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一,能够带来精确的失效分析和质量保证。

QuickStep SCM 快速扫描式电容显微镜
PinPoint iAFM 无摩擦导电原子力显微镜

Accurate and Reproducible Measurements for Better Productivity
Tip Wearing Experiment with CrN Sample

• 通过对比重复扫描情况下探针针尖的形状变化,您可以轻易看到Park的True Non-Contact模式的优势之处。
Reproduce Best AFM Measurement

• 借助True Non-Contact模式,探针针尖在扫描氮化铬样品(即探针检测样品)200次后仍可保持锋利的状态。氮化铬的表面粗糙且研磨性强,会让普通的探针很快变钝。
我们的原子力显微镜配有有效的低噪声Z轴探测器,宽噪音带宽仅有0.02 nm。这能够带来超精确的样品形貌,不会受沿过冲影响,而且无需校准。这仅仅是Park原子力显微镜为您节省时间,带来更好精确数据的方式之一。
3原子力显微镜模式
QuickStep SCM Mode


PinPoint导电原子力显微镜模式是针对探针和样品之间的指定电接点而开发设计的。在电流采样过程中,XY轴扫描器会依据用户设定的接触时间停止。PinPoint导电原子力显微镜模式能够带来更高的空间分辨率,且不受 侧向力的影响,同时在不同样品表面的电流测量也得到优化。

通过对比氧化锌纳米棒在不同类型的导电原子力显微镜图像,我们可以看到相比轻敲式导电原子力显微镜,传统的接触式导电原子力显微镜有着更高精度的电流测量,但其分辨率低,原因在于探针在接触中快速磨损。全新的PinPoint导电原子力显微镜不但空间分辨率更高,且电流测量也得到优化。
导电原子力显微镜是各类元件研究的重要工具,特别是工业的失效分析。Park导电原子力显微镜不但有超低的电流噪声,且增益范围也非常大。
• 低电流噪声(0.1 pA)
• 电流(10 μA)
• 增益范围(7个数量级,103-109)
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Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比,高真空测量具有准确度好、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点。
高精度探针针尖变量的亚埃米级表面粗糙度测量,晶圆的表面粗糙度对于确定半导体器件的性能是至关重要的,对于先进的元件制造商,芯片制造商和晶圆供应商都要求对晶圆商超平坦表面进行更精确的粗糙度控制。
对于工程师来说,识别介质/平面基底的纳米级缺陷的任务是一个非常耗时的过程,Park NX-HDM原子力显微镜系统可以自动缺陷识别,通过与各种光学仪器的联用可以提高缺陷检测效率。
Park Systems推出NX-3DM全自动原子力显微镜系统,专为垂悬轮廓、高分辨率侧壁成像和临界角的测量而设计。
CSI是一家法国科学设备制造商,拥有专业的AFM设计概念,以及为现有的AFM提供设计选项。它避免了激光对准需要预先定位针尖的系统,针尖/样品的顶部和侧视图,结合垂直的马达控制系统,使预先趋近更加容易。
EM-AFM可在SEM中同时提供原子力显微镜成像和纳米机械测量。它综合了这两种技术的优点,可高速获得高分辨率的三维图像,并且在微纳米和亚纳米尺度上实时观察纳米级力的相互作用,与常规SEM/FIB兼容,
德国Attocube 磁共振显微镜/低温强磁场磁共振显微镜attoCSFM,集成了由完全无磁性材料制备的高数值孔径(NA)共聚焦显微镜与原子力显微镜来满足ODMR实验的需求。
纳米尺度下的磁学图像对于研究磁性材料和超导样品是非常重要的,利用attocube公司attoAFM/attoMFM/atoSHPM系统,科学家可以在无以伦比的空间分辨率(20nm)和磁场敏感性下分析样品磁性,工作温度从极低温、强磁场到室温。