德国Osiris实验室旋涂设备

产品简介

BASIXX ST20 +是一个台式安装、旋涂、清洗、显影和干燥的半自动系统，旨在为科学和研究用户提供高效、安全和清洁的实验室系统。该设备具有易于使用的7 英寸彩色触摸屏界面。该软件包含配方管理，如编写、编辑、保存和加载。服务区域提供手臂和转盘以及介质控制的设置选项。还汇集了软件更新功能以及可以通过 U盘保存的日志文件和备份功能。在该旋涂系统的设计和结构中，非常重视速度和用户友好性。

产品特色

÷ 作为桌面版本的紧凑型设计

÷ 手动装载/卸载

÷ 衬底最大可达 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

÷ 软件提供用户友好的操作

÷ 直驱旋涂电机

÷ 全轴电机驱动且完全可编程

÷ 带安全中断传感器透明盖

÷ 外壳上有电源开关 ON / OFF

÷ 可视化真空控制计

÷ 可更换并易于拆卸的工艺碗和防溅环，方便清洁。

÷ 系统材料可抵抗所有类型的抗蚀剂和溶剂以及各种清洁介质。 (PP-聚丙烯)

÷ 包含 0.5 升废液瓶

÷ 准备点胶臂和多种其他选择

技术数据

通用

衬底尺寸: 最大可达 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

电机转速: 最大 10.000 转数, 以 1 转 步进*

电机加速: 最大 4.000 转/秒*

步进时间: 1 至 999.9 秒，步长为 0.1 秒

加工碗: 由 PP 天然制成

系统架构: 由 PP 白色制成

*取决于卡盘设计、衬底重量和负载

(+) 点胶线 / 可编程输出

3条介质线 : 2 x 24 V / 最大 1 Amp (每条) / 触发点 0.1 秒 - ∞

5条介质线: 6 x 24 V / 最大 1 Amp (每条) / 触发点 0.1 秒 - ∞

要求

电源: 230 (110) VAC / 1 相 / N / PE / 50(60) Hz

真空: -0.8 巴（-80KPa）/ -600 托尔, 管 OD Ø6 mm

排气过程: 2 x OD Ø38 mm, 大约 30m3/h

氮 (可选): 4 ± 0.2 巴（400±20KPa）, PFA 管 OD Ø6 mm**

CDA (可选): 8 ± 2 巴（800±200KPa, 管 OD Ø8 mm**

**直径取决于配置

尺寸 (宽X深X高) 

桌面式系统: 450 x 510/650 x 430 mm, (17.7 x 20.1/25.6 x 16.9 inch)

高度（盖子打开）: 760 mm (29.9 inch)