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德国Osiris晶圆(边缘)去胶机
- 品牌:德国Osiris
- 型号: UNIXX EBR A20
- 产地:德国
- 供应商报价: 面议
- 倬昊纳米科技(上海)中心 更新时间:2024-04-21 22:44:05
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企业性质授权代理商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 详细介绍
产品简介
UNIXX smartEBR 模块是一种革命性的方法,可以去除任何形状基材上的边珠。它可以配置溶剂或紫外光源。工艺外壳由不锈钢制成,并带有透明玻璃盖,用于手动装载和卸载基板。通过“Air-Beam Technology”喷嘴单元,为客户带来了显着的好处,例如更高的产量和更低的成本。该设备具有易于操作的用户界面,具有所有需要的功能,例如配方编程、服务通信和用户管理。所有必要的介质供应,如 CDA、N2、真空和去离子水都可以通过快速插入式连接连接并由软件控制。
产品特色
÷ 手动装卸
÷ 衬底尺寸最大可达 Ø200 mm 或 150 x 150 mm
÷ 适用于薄或非常厚的衬底 (从 0.2 到 15 mm)
÷ 广泛的衬底材料,如硅、碳化硅、玻璃、塑料、金属等。
÷ “Air-Beam Technology”喷嘴单元为客户提供了显着的好处,例如更高的产量和更低的成本。
÷ 不锈钢制成的高流量或低流量 EBR 喷嘴
÷ 通过高分辨率对齐模块自动校准衬底
÷ 介质流量可调节(可选:控制单元上的可编程配方点胶量)
÷ 提供不同的卡盘:真空或低接触卡盘或边缘夹持卡盘
系统设计:
÷ 工艺外壳由不锈钢制成,带有透明盖。
÷ 独立单或双底架:
- 由粉末涂层不锈钢制成的系统框架和外壳
- 可锁定的前门,用于存放溶剂和废液罐
- 易于访问的用于服务操作的控制单元
- 可调水平脚和运输轮
÷ 可作为台式模块使用
控制装置:
÷ 7 英寸彩色触摸屏作为用户终端
÷ 配方编辑器可编写、管理和配置
÷ X 或 X-Y 轴可编程边缘珠去除光刻胶单元*
÷ 有效的过程监控的实际可视化
÷ 配方、流程、日志文件的库函数(例如错误跟踪历史记录)
÷ 通过密码保护的服务访问进行用户管理
÷ 通过USB或内网连接更新和备份功能
*取决于衬底形状或尺寸
技术数据
通用
衬底尺寸: X轴最大可达 Ø200 mm /Ø 8” 或 76 x 76 mm / 3 x 3 inch
X / Y轴最大可达 Ø200 mm /Ø 8” 或 150 x 150 mm / 6 x 6 inch 电机
转速: 最大 600 转,以 1 转 步进可编程*
电机加速: 最大 1.000 rpm/s
smartEBR模块: 由不锈钢和透明可锁玻璃门制成
系统框架: 由粉末涂层不锈钢制成,带有 4 个可调节支脚
系统外壳: 由粉末涂层不锈钢制成
*取决于卡盘设计、衬底重量和负载
要求
电源: 400 (208) VAC / 3 相 / N / PE / 50(60) Hz / 16A
真空: -0.8 巴 (-80KPa), 管 OD Ø10 mm
CDA: 8 巴(800KPa), 管 OD Ø10 mm
氮(可选): 4.5 巴(450KPa)
排气过程: 1 x OD Ø110 mm, 60 - 90m3/h
排气容器: 1 x OD Ø110 mm, 20 - 40m3/h
排水: 到带有高液位传感器的废物罐或到设施排水管