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Leica EM SCD500高真空溅射镀膜仪
- 品牌:德国徕卡
- 型号: Leica EM SCD500
- 产地:欧洲 德国
- 供应商报价:面议
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广州领拓仪器科技有限公司
更新时间:2025-04-28 09:36:17
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销售范围售全国
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详细介绍
- 无油高真空系统,适合于高分辨率FE-SEM观察前眼皮镀膜及TEM/EDX喷涂要求;也可应用于制备多层膜样品
功能:金属溅射镀膜/辉光放电/蚀刻(样品清洁)/碳丝蒸发镀膜/碳棒蒸发镀膜/金属热阻蒸发镀膜/加装液氮冷台(适配EMVCT100)
带有金属靶挡板,适用于特殊溅射靶材的预溅射,确保镀膜纯度
可选配石英膜厚监控器,可程序化控制膜厚,并反馈膜仪
样品室尺寸:标配106mm,选配205mm(可容纳wafer152mm/6"圆形或127mm/5"方形)
操作简单,带有LED指示,机身印有操作说明