纳米定位技术

仪器简介：

随着纳米技术、MEMS技术、半导体工业的飞速发展，对纳米级精度的移动定位装置、操纵装置、加工装置等的需求也在快速增长。为了满足这一市场需要，我们推出了一系列纳米定位、微操纵装置。

纳米精度定位装置

该系列产品设计极为紧凑，可以使样品或探针作直线或旋转移动。而且很多型号可以工作在极端环境条件下，例如极低温、超高真空、强磁场等。这些设备可以提供多种不同尺寸和材料，开辟了一个全新的定位设备的市场，在很多领域开拓了全新的研究方向。

● 适应各种极端工作环境：低温、超高真空、强磁场
● 提供多种运动自由度：XYZ直线、旋转、XY扫描、Z扫描、Θ、Φ等等，并且可以任意组合
● 定位精度高达纳米级
● 极高的稳定性，无机械漂移、无回差、无需高压
● 负载大，可达自重的数倍
● 部分型号具有两种工作模式，单独一个设备既可以实现粗定位，也可以用于扫描
● 部分型号可选配多种位置读出设备，实现闭环控制
● 可根据客户要求定制各种特殊定位装置


纳米级操纵装置，适用于SEM,TEM,FIB系统

纳米马达

拥有原子量级分辨率，运动行程达厘米级，横跨8个数量级，可提升6倍于自身重量的物体，并适应多种工作环境，包括超高真空、磁场、甚至液氮。

纳米定位平台

● 最大承重量为2kg
● 行程：5~70mm
● 运动速度：<2mm/s
● 运动分辨率：2nm
● 定位传感器分辨率：<10nm

机械手

包括微操作机械手、力反馈机械手、XYZ机械手等，可对夹持力进行精确控制，具有分辨率高，行程大，设计灵活等特点。