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德国BMT WLI Linik干涉仪

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详细介绍

德国BMT WLI Linik干涉仪

特点:
区域表面的形貌测量;
数秒内快速测量;
粗糙和光滑表面都可测量;
测量结果不受样品的颜色和材料影响;
产品坚固耐用。

技术参数:
光源 LED
测量范围 (mm) 150
垂直分辨率(nm) 1
横向分辨率(μm) >0.2
测量面积 (μm) 90×70
工作距离,约(mm) 0.3
光斑尺寸,约(μm) 0.95
图像尺寸(Pixel) 1~10

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