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等离子清洗机 PDC610

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详细介绍
小型、多段式等离子清洗机

用途
●  提高各种材料的粘接性、表面改质处理
●  灰化、蚀刻处理
●  塑料封装前处理
●  印刷基板镀层前处理
●  LED关联部品处理
●  电子部品清洗
●  光刻胶剥离或表面残留物去除
●  光学、金属、机械部品等精密部件的清洗
●  包含氟化树脂的树脂类产品表面改质
●  FCC对应

特征
●  600W的小型高输出功率
●  电极可选择1·2·3段(采购时指定)
●  可处理纵型的试料收纳盒
●  可选择RIE/DP模式(采购时指定)
●  数据记录器(选配)
●  适配点记忆功能(选配)

规格

型号 PDC610
等离子模式 RIE/DP(固定模式)
电极构造 3段独立平行平板(固定)
高频输出 Max600W
频率 13.56MHz
控制·显示方式 PLC·触摸屏
反应腔尺寸 W350×D270×H300mm
反应腔材质 A5052
反应气体 2系统(Ar、O2)
填充气体 N2或干燥空气
真空泵 油泵(约345L/分)·标配
外形尺寸 W600×D722×H700mm
外装材质 不锈钢
电源 3相 AC200 50/60Hz 15A

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