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显微分光膜厚测量仪
- 品牌：日本HalfMoon
- 货号：
- 产地：
- 供应商报价： 面议
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上海瞬渺光电技术有限公司
更新时间：2022-01-12 15:50:35 -
企业性质
入驻年限第10年
营业执照
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- 详细介绍
产品特点：
?优异的性价比，低价格却可达到相近于高端膜厚计的测量再现性。
?中文化操作介面，入门简易、沟通无障碍。
?提供完整测量教学、技术支援、点检校正等售后服务。
?采用标准样品验证膜厚精度与再现性，确保追溯体制的完整。
?显微镜聚焦下的微距口径测量。
产品规格：
测量规格 膜厚范围 200nm~20μm 波长范围 400nm~780nm 膜厚精度 ±1nm以内 重复更现性(2σ) 0.5nm以内 选配品 样品台尺寸 200mm×200mm以内可容制化 测量口径（10倍物镜时） Φ20μm、Φ40μm、Φ60μm 电脑设备 需支援至少三个USB以上之笔记型或桌上型电脑 作业系统 WindowsXP/7（32bit） 测量物镜 5倍、10倍、20倍 软件功能 膜质解析 N：折射率、k：吸光系数 膜厚测量法 FFT法、波峰-波谷法、曲线近似法（Fitting） 应用范围：
半导体晶圆膜、FPD薄膜材料、树脂膜、光阻膜、氧化膜、包装膜、光学镀膜、抗反射膜、透明或半透明膜层
应用范例：
Si基板上99.4nm的SiO2膜
Si基板上1018.2nm的SiO2膜
