太赫兹近场光学显微镜-THz-NeaSNOM
--30nm光学信号空间分辨率
太赫兹(THz)光源波长较大,一般在300微米左右。由于衍射极限的存在,THz远场测量系统的光学空间分辨率一般被限制在150微米左右。该THz光远场测量结果的准确度经常无法满足对材料科学研究,尤其是需要纳米分辨率的微细尺度材料分布研究(例如半导体芯片中各个组成:源极,漏极,栅极)的实验。THz-NeaSNOM近场光学显微镜的出现为此难题提供了一个很好的解决方案。
德国neaspec公司与Fraunhofer IPM在neaspec公司neaSNOM近场光学显微镜的基础上,已经成功研发了一套易用使用且THz系统的空间分辨率达到30nm的实验设备。
产品特点/基本参数

+ 优于30nm的空间分辨率
+ 常用THz光范围:0.1-3THz
+ ZG设计的宽波段抛面镜
+ THz研究可使用商业化的AFM探针
+ THz-TDS使用飞秒激光光源
+ 简单易用,稳定性高
应用案例
THz-NeaSNOM 30nm空间分辨率

THz-NeaSNOM近场光学显微镜(下图左)对半导体结构的测量结果图。
该结果表明硅衬底(上图左,灰色)上的SiO(一氧化硅)的尺寸大约在1.5×1 平 方微米。通过分析左侧的高度数据,可以知道该一氧化硅结构仅仅只有大约22纳米厚度。虽然该层状结构非常薄,但THz-NeaSNOM近场光学显微镜(下图左)在测量高度的同时仍然能够记录该结构与衬底的近场光学信号的明显不同衬度的结果。该THz-NeaSNOM近场光学显微镜不仅在测量非常薄样品的时 候灵敏度非常高,而且通过分析近场光学信号数据(下图右)也证实了它超高的空间分辨率(~25-30nm)。

表征半导体器件 Nature 456,454(2008) 超快机制研究纳米线 Nature Photonics 8,841(2014)
测试数据
表征半导体器件 Nature 456,454(2008)

超快机制研究纳米线 Nature Photonics 8,841(2014)

部分用户好评与列表(排名不分先后)
neaspec公司产品以其稳定的性能、极高的空间分辨率和良好的用户体验,得到了国内外众多科学家的认可和肯定......
| "The neaSNOM microscope with it’s imaging and nano-FTIR mode is the most useful research instrument in years, bringing genuinely new insights." Prof. Dmitri Basov 美国 加州大学 University of California San Diego Department of Physics La Jolla, USA |
"We were looking for a flexible research tool capable of characterizing our energy storage materials at the nanoscale. neaSNOM proofed to be the system with the highest spatial resolution in infrared imaging and spectroscopy and brings us substantial new insights for our research” Dr. Jaroslaw Syzdek 美国 劳伦斯伯克利国家实验室 Lawrence Berkeley National Laboratory Environmental Energy Technologies Division Berkeley, USA | |
| "The neaSNOM microscope boosted my research in plasmonic properties of noble metal nanocrystals, optical resonances of dielectric nanostructures, and plasmon polaritons of graphene-like two dimensional nanomaterials." 陈焕君 教授 ZG 中山大学 Sun Yat-sen University China |
![]() | "As a near-field expert I was quickly convinced that neaSNOM is the only optical AFM microscope completely satisfying the needs of demanding near-field experiments. It’s the best comercially available technology and in addition really easy to use." Prof. Thomas Taubner 德国 亚琛工业大学 RWTH Aachen Metamaterials & Nano-Optics Aachen, Germany |
![]() | "As a newcomer to the near-field optics I am very grateful for the prompt and competent support provided by neaspec’s experts." Dr. Edward Yoxall 英国 帝国理工大学 Imperial College London Department of Physics London, United Kingdom |
"After many years of research and development in near-field microscopy, we finally made our dream come true to perform infrared imaging & spectroscopy at the nanoscale. With neaSNOM we can additionally realize Raman, fluorescence and non-linear nano-spectroscopy." Prof. Rainer Hillenbrand 西班牙 纳米科学协同研究中心 CIC nanoGUNE Research Center Co-Founder and Scientific Advisor San Sebastian, Spain | |
![]() | "A unique advantage of the neaSNOM microscope is that it can be applied to many fields of scientific research such as Chemistry, Semiconductor Technology, Polymer Science and even Life-Science." Dr. Fritz Keilmann 德国 慕尼黑大学 Ludwig-Maximilians Universität München |
南京大学 | 中山大学 |
首都师范大学 | 苏州大学 |
University of San Diego,USA | University of Southampton, UK |
CIC nanoGUNE San Sebastion, Spain | LBNL Berkeley, USA |
Fraunhofer Institut ILT Aachen, Germany | Max-Planck-Institut of Quantum Optics, Garching, Germany |
University of Bristol, UK | RWTH Aachen, Germany |
California State University Long Beach, USA…… | |
报价:面议
已咨询2740次表面成像
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已咨询492次太赫兹元件
产品简介: LZ9000THz中药太赫兹量子指纹一致性评价系统是一款基于太赫兹时域光谱分析仪(TDS)及中药光谱量子指纹一致性数字化评价系统4.0的检测产品。产品搭配透射、反射成像模块,可即刻获取物质的时域谱、频域谱、折射率等光学物理参数及太赫兹量子指纹图谱信息,通过系统指纹定量法JZ揭示中药质量变异情况,适用于中药材、中药饮片、中药提取物、中成药固体制剂以及中药配方颗粒的快速测定,用于中药质量一致性评价及中药均一化投料控制,确保中药生产过程质量一致性和稳定性。 产品特点: · 多功能模块灵活切换,支持透射、反射成像模块; · 测量精密准确,检测前处理过程简单,绿色无污染; · 开发window界面软件,软件操作简单,功能布局美观; · 多类型计算分析方法和评价报告,数据量化直观。
探测波段宽、灵敏度高、响应度高、分辨率精细准确且性能可靠。 高质量信噪比,zui高能达到4THz的输出,光谱动态范围在透射情况下达到80db。 具备透射能力的一体化台式太赫兹光谱仪,支持目前我司开发的所有功能模块 自动周期校准:自动校准太赫兹波幅值,相位不受温度影响,不需要外部光路调整。 大气背景补偿:减少大气对样品吸收光谱的影响,提升了测量精度,提高频率质量和一致性。 自带图谱库:拥有专业太赫兹图谱库,满足常规检索。支持用户自定义谱库,可自行添加维护。 自动休眠模式:zui*程度的节省能耗及延长设备使用寿命。
探测波段宽、灵敏度高、响应度高、分辨率精细准确且性能可靠。 高质量信噪比,zui高能达到4THz的输出,光谱动态范围在透射情况下达到80db。 具备透射能力的一体化台式太赫兹光谱仪,支持目前我司开发的所有功能模块 自动周期校准:自动校准太赫兹波幅值,相位不受温度影响,不需要外部光路调整。 大气背景补偿:减少大气对样品吸收光谱的影响,提升了测量精度,提高频率质量和一致性。 自带图谱库:拥有专业太赫兹图谱库,满足常规检索。支持用户自定义谱库,可自行添加维护。 自动休眠模式:zui*程度的节省能耗及延长设备使用寿命。 具体数据输出:提供多种报告打印和数据输出格式。 的密闭性设计,样品仓采用氮气静洗,充气10分钟样品仓湿度控制在5%以内。 严格的寿命测试和环境测试,对于工作环境无特殊要求,并能保证24*7连续工作。
Model SPS-300是一款模块化的偏振傅立叶变换光谱仪(FTS)。它是专门针对远红外(Terabertz)光谱范围的应用而设计的,这段光谱区域介于红外光和微波之间(大约10um-5mm),或者称之为亚毫米的光谱区域。SPS-300的模块性使之可以配置到一个光源光谱分析器或者材料透射/反射光谱仪。
太赫兹(30微米到2毫米)辐射可以穿透多种材料。这一新兴技术在需要进行透视成像的应用场合具有巨大潜力。这就是为什么INO提供太赫兹辐射热探测器,这一太赫兹成像仪器的关键部件之一。