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徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL

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详细介绍


徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL概述

徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL检验系统,快速检测,快速响应。在微电子和半导体的检验、过程控制或缺陷和故障分析中,检测速度快,响应速度快。视场宽敞30%,可快速扫描6"样品组件,DM3 XL检验系统凭借大视场能更快地识别缺陷,提高工作效率。

材料显微镜-Leica DM3 XL.jpg

徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL性能

  • • 快速检测,快速响应,视场宽敞30%,DM3 XL检测系统能有效节省检验时间

  • • 快速扫描 6"的样品组件,放大倍率0.7X宏观物镜即刻采集35.7mm的视场

  • • 更多细节尽收眼底,常规物镜看不到的区域在宏观概览下无所遁形,可靠检测晶片边缘或中 心显影不足的区域,检测不均匀的径向膜厚度

  • • 适用于所有相衬观察方法的LED,提供恒定色温,真彩色成像,始终可看到相同颜色样品,获得可复制的结果,LED使用寿命可达35000小时,且低能耗,节约成本

  • • 特有的光学特性,采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑,以简单有效的方式从不同角度照亮样品,从而实现各种形貌的可视化。借助深暗场对比检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒

  • • 不同样品–可变载物台插件,有种类丰富的载物台插件供选择,满足各种尺寸试样的检测需要

  • • 工作舒适直观,采用人体工学设计,舒适性好,操作更简单


徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL技术参数

系统Leica DM3 XL技术参数
显微镜支架固定的金属支架
调焦2档调焦(粗调/微调,采用1μm测微尺刻度,带顶部调焦限位装置)或
3档调焦(粗调/微调,采用1μm和4μm测微尺刻度,带顶部调焦限位装置)
扭矩粗调焦,可调载物台高度挡块
载物台冲程30mm
入射光坚固的入射光轴,带4位反射镜转盘
适用于BF/DF/POL/DIC和FLUO:
›带斜射照明
›带彩色编码光圈辅助(CCDA)
›带中 心孔径可变光阑
›带入射光滤片匣(双滤片,直径32mm)
下列光源可适应所有入射光轴:
›LED-灯箱,带入射光亮度内部显微镜空件
›镜像室106,适用于两种光源的同步调整
›荧光照明SFL 100、4000和7000
›EL6000、Hg50、Hg100、Xe75
›12V100W卤素光源(106或107/2系列灯箱),带独立变压器
物镜转盘/物镜5孔 BF/DF M32、6孔 BF M25物镜转盘:
›5X、10X、20X高反差平场消色差EPI物镜
›2.5X-100X平场消色差EPI物镜
›1.25X-100X平场半复消色差物镜
›0.7X宏观50X、100X、150X平场复消色差物镜
LED照明适用于所有相衬观察方法的LED
›在所有亮度等级下实现真彩色成像
›自由调节
›无需更换灯泡 – 无停机时间
›可复制的结果
载物台有种类丰富的载物台插件供选择,适合多种类型和尺寸的试样检验:
›载物台尺寸:150x150mm
›载物台插件:金属插件、晶片支座或掩模支座
›快速的粗略或jing准载物台定位
附件选配放大倍率调节器(1X、1.5X、2X)
选配测量载物台,适用于X、Y和Z向测量
透射光借助带光纤的外部冷光源照明
电源稳定的通用电源单元,90-230V


产品优势
徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL检验系统,快速检测,快速响应。在微电子和半导体的检验、过程控制或缺陷和故障分析中,检测速度快,响应速度快,是微电子和半导体理想的检验系统。
突出特点:
► 视场宽敞30%,可快速扫描可达6"样品组件,DM3 XL检验系统凭借大视场能更快地识别缺陷,提高工作效率
► DM3 XL检验系统为中等预算用户提供了更佳选择
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