徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL

徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL概述

徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL检验系统，快速检测，快速响应。在微电子和半导体的检验、过程控制或缺陷和故障分析中，检测速度快，响应速度快。视场宽敞30%，可快速扫描6"样品组件，DM3 XL检验系统凭借大视场能更快地识别缺陷，提高工作效率。

徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL性能

• • 快速检测，快速响应，视场宽敞30%，DM3 XL检测系统能有效节省检验时间

• • 快速扫描 6"的样品组件，放大倍率0.7X宏观物镜即刻采集35.7mm的视场

• • 更多细节尽收眼底，常规物镜看不到的区域在宏观概览下无所遁形，可靠检测晶片边缘或中 心显影不足的区域，检测不均匀的径向膜厚度

• • 适用于所有相衬观察方法的LED，提供恒定色温，真彩色成像，始终可看到相同颜色样品，获得可复制的结果，LED使用寿命可达35000小时，且低能耗，节约成本

• • 特有的光学特性，采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑，以简单有效的方式从不同角度照亮样品，从而实现各种形貌的可视化。借助深暗场对比检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒

• • 不同样品–可变载物台插件，有种类丰富的载物台插件供选择，满足各种尺寸试样的检测需要

• • 工作舒适直观，采用人体工学设计，舒适性好，操作更简单

徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL技术参数