-
-
-
全自动3D光刻耦合封装平台
- 品牌：LUSTER凌云光
- 型号： 全自动3D光刻耦合封装平台
- 产地：北京
- 供应商报价：面议
-
凌云光技术股份有限公司
更新时间：2025-03-18 10:14:34 -
销售范围售全国
入驻年限第10年
营业执照已审核
- 同类产品封装设备(5件)
立即扫码咨询
联系方式：400-829-1996
联系我们时请说明在仪器网（www.yiqi.com）上看到的!
扫 码 分 享 -
为您推荐
产品特点
- Vanguard公司全自动3D光刻耦合封装平台，采用3D光刻工艺，借鉴电气引线键合(wire bonding)思路，可制备出任意形状高分子聚合物光波导和微光学透镜，实现芯片-芯片/芯片-光纤光耦合互联。
详细介绍
- 产品描述产品特点
- 无需高精度耦合对准
- 实现任意模场之间低损耗连接
- 在不同环境下保证高可靠性
- 高密度互联
- 适合大批量生产
产品规格
激光器芯片混合集成(PWB工艺)
芯片出光模斑转换(微光学透镜工艺)
Vanguard SONATA 1000全自动3D光刻工系统（适用光子引线键合和微光学透镜工艺）
- 工业量产级立式设计，适合芯片装配线集成
- 精密隔振工业级主机和不锈钢设备外壳
- 工业级780nm激光器，输出功率>140mW，脉冲宽度约100fs，适配不间断生产专用设计
- 高速、高精度驱动，分辨率20nm
- 高精度定位平台，（x,y）行程范围≥250mm
Vanguard REPRISE 1000全自动3D光刻点胶显影及包层涂敷设备（可选）
- 全自动光刻胶预处理和后处理，实现自动点胶（dispensing）和显影（developing）
- 波导包层涂覆
沪公网安备 31011502008050号