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INSTEC XYZ模块化变温探针台 HCP421V-MPS
- 品牌：德国徕卡
- 产地：欧洲 德国
- 供应商报价：面议
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广州领拓仪器科技有限公司
更新时间：2025-05-19 13:50:42 -
销售范围售全国
入驻年限第10年
营业执照已审核
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产品特点
- HCP421V-MPS Instec的真空型mini台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。
详细介绍
- 特点与优势
mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备
可编程控温，涵盖-190℃~400℃
适用 10 mm ~26 mm 晶圆和器件
可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用
独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针,
模块化设计，可自由组合
可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK
SMA接头转BNC四探针，手动点针
*可做定制或改动温控参数
温度范围 -190℃~400℃（负温需配液氮制冷） 加热块材质 银 传感器/温控方式 100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）
30℃/min最小温控速度 ±0.01℃/min 温度分辨率 0.01℃ RTD传感器 温度稳定性 ±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃） 软件功能 可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线 探针 默认为铼钨材质的弯针探针 探针座 可从外部XYZ移动的探针臂 点针 从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置 探针接口 默认为SMA接头转BNC
*可增设腔内接线柱（样品接电引线）
样品台面电位 默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口 适用光路 反射光路 
窗片 可拆卸与更替的窗片 最小物镜工作距离 8/12 mm （可选） *截面图中WD 上盖窗片观察 窗片范围φ45mm，最大视角±50° *截面图中θ1 负温下窗片除霜 吹气除霜管路 适用样品 26 mm直径 （标准） 样品腔高 4/8 mm （可选） 探针座 可从外部XYZ移动的探针臂
粗调模式+微调模式，XY粗调20mm
XY微调行程10mm,Z微调 3mm调节精度 10um 气氛控制 真空腔，也可充入保护气体 外壳冷却 可通循环水，以维持外壳温度在常温附近 台体尺寸/重量 300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg 基本配置 真空型台式探针台、mK2000B温控器
可选配件 安装支架、液氮制冷系统、外壳循环水冷系统、显微镜头、防震桌、真空系统、测试源表、三同轴BNC、台面电悬空、样品接电引线
TP102V-MPS 温度范围 -40℃ ~ 180℃，样品区,40mm*40mm HCP421V-MPS 温度范围 -190℃ ~ 400℃，样品区 Φ26mm HCP402V-MPS 温度范围 -190℃ ~ 400℃，样品区 50mm*50mm HP1000G-MPS 温度范围 35℃ ~ 1000℃，样品区 25mm*25mm,气密腔室 定制型号 按客户需求定制，最大适用300mm晶圆样品 
典型应用表征薄膜、二维材料、纳米材料和分子/有机材料器件的电性能测试
需要加热块表面电接地、接同轴BNC接口、三同轴BNC接口的
需要钨铼探针、铍铜探针或其他材料的探针的
需要从外部对台体内探针进行XYZ移动的
晶圆、半导体器件、集成电路、印刷电路板、光伏板、LCD/LED测试
测量IV和CV特性、击穿电压、漏电流、电阻、介电常数和二极管效率
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沪公网安备 31011502008050号