Avantgarde 室温手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测，用于室温下的芯片、晶圆和器件的非破坏性测试。
PSM系列室温手动探针台是一款高品质的探针台能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。科学的桌面设计是学术和实验研究的最佳选择。
特点
• 稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移。
• 样品座可以放置8英寸的晶圆样品，采用多孔分区控制气体吸附固定。
• 移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±100mm的移动行程，使得样品测试和换样更加便捷。 滑台采用磁力吸附固定。
• 最多可安装6个探针臂。
• 探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调，操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针 可以扎到样品的任意位置。
• 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内。
• CCD放大倍数为180倍，工作距离为100mm。
型号分类：
| 型号 | PSM-2 | PSM-4 | PSM-6 | PSM-8 |
| 样品座尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 |
参数和指标：
| 样品座 | |
| 卡盘尺寸： | 2/4/6/8英寸，可定制 |
| 材质： | 无氧铜镀金 |
| 样品固定方式： | 多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道 |
| 滑台 | |
| X-Y移动行程： | 2/4寸: X-Y轴±50mm；6/8寸: X-Y轴 ±100mm |
| 读数精度： | 10μm |
| 探针臂 | |
| 固定方式： | 磁铁吸附 |
| XYZ微调移动行程： | XYZ-13mm |
| 微调可分辨精度： | 10μm |
| 探针臂数量： | 可安装6个探针臂（左右各3个） |
| 电学线缆： | 三同轴线缆 |
| 漏电流： | 100fA |
| 探针类型： | 直流探针 |
| 光学系统 | |
| 显微镜放大倍数： | 10-180倍 |
| 显微镜工作距离： | 90-100mm |
| 显微镜分辨率： | 3μm（可选1μm） |
| 光源类型： | 兼配同轴和环形光源 |
| 可加选件 | |
| 光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤 | |
报价：面议
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• 任何测试间距都具有噪声。 • 当选配EZ1-LNA温度组件时，噪声低于0.5 µemu。 • 在可用样品空间内噪声低于0.1 µemu。 • 场噪声低，约5 mOe。 • 磁场分辨率高，约0.2 mOe。 • 扫场速率可达1T/s，采点速率1000点/s。 • 无需硬件切换即可调节77 K、100-1000 K温区。 • 新增磁光克尔功能、新增磁电耦合选件、直流/交流磁电阻选件、FMR选件、自动进样选件。 • 选用温度选件时，具有10mm样品腔空间。 • 安全可靠的风冷磁体电源。 • 设备设计紧凑，所需空间小
- 温度测量可低至300 mK，测量分辨率高达0.1 mK（24位ADC) ; - 标准配置12路测温通道，并支持选配2~32路测温通道； - 每个测温通道之间相互独立，采样速率均为10 SPS; - 通道间支持同步采样功能，同步时间优于100us; - 自动调整温度计激励电流，以获得Z高的测量精度和Z低的发热量； - 支持1000+条用户自定义分度表； - 支持USB(串口)、网口、RS485通讯方式。
- 温度测量和控制可低至300 mK; - 8路独立的温度测量通道，分辨率高达0.1 mK（24位ADC) ; - 自动调整温度计激励电流，以获得Z高的测量精度和Z低的发热量； - 支持1000+条用户自定义分度表； - 2路PID输出通道Z大功率100 W + 50 W； - 支持2路继电器和2路模拟信号输出； - 可设置升降温速率； - 在不同的温度范围，PID参数可以根据区域表进行切换（Zone模式）； - 支持USB(串口)、网口、GPIB通讯方式； - 拥有加热器短路和开路检测，设定值和温度限制等安全保护措施。
• 互换性 • 可重复性 • NIST标准 • 结实
- 温度测量和控制可低至300 mK; - 2路独立的温度测量通道，分辨率高达0.1 mK（24位ADC) ; - 自动调整温度计激励电流，以获得Z高的测量精度和Z低的发热量； - 支持1000+条用户自定义分度表； - 1路PID输出通道Z大功率100 W； - 支持1路继电器和1路模拟信号输出； - 可设置升降温速率； - 在不同的温度范围，PID参数可以根据区域表进行切换（Zone模式）； - 支持USB(串口)、网口、GPIB通讯方式； - 拥有加热器短路和开路检测，设定值和温度限制等安全保护措施。
• 温度范围广：从 4 K 到 325 K（500K或800K可选） • 样品在真空中，采用热传导冷却 • 样品空间大，可搭配多种类型样品座可对各种薄膜、块体、粉末和液体样品进行测试 • 铝制真空外罩和防辐射屏，采用分段设计，方便快速换样 • 标配4个光学窗口可视范围（38mm） • 配备多场温度控制系统 • 支持标准光学样品座、粉末样品座、液体样品座电阻样品座、探针样品座及电阻样品座，多种样品座可供选择 • 降温速度快可在1小时内降至5K • 样品室采用快卸式卡箍设计，便于更换样品 • 真空外罩预留盲板，可选装多种电学测量配置（如SMA、BNC、三同轴、多针电学真空馈通磷铜线、极细同轴线、半刚性微波电缆等）
• 温度范围广：从 78 K 到 500 K（800K可选，使用泵抽减压降温Z低温度可选65K） • 样品在真空中，采用热传导冷却 • 样品空间大，可搭配多种类型样品座可对各种薄膜、块体、粉末和液体样品进行测试 • 0.4L液氮存储空间，低温保持时间长达 5 小时，可在不影响实验的情况下灌装液氮 • 标配4个光学窗口可视范围38mm • 配备温度控制系统 • 支持标准光学样品座、粉末样品座、液体样品座、电阻样品座、探针样品座及电阻样品座，多种样品座可供选择 • 带有液氮流量调节杆，调节恒温器的冷量 • 样品室采用快卸式卡箍设计，便于更换样品 • 体积小巧便于易于集成到商用光谱仪设备中
• 液氮高低温真空探针台，15分钟内腔体真空度可达到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到Z低温度只需0.2L液氮，使用方便快捷同时兼顾经济性。 • 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空 的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。 • 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足Z大4英寸样品的测试。 • 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性 • 探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@80K--800K • 测试温度范围宽，Z大支持80K-800K连续变温。 • 独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏 • 上盖采用翻盖结构，换样更便捷。
营业执照已审核
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