「手动探针台 E6增强型手动探针台」价格、参数、图片

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E 系列是一款功能进阶级探针台，能实现 1μm 以上的电较为 Pad 测试，工效学设计简单易操作，灵活的 UPStart™ 模块化设计，客户可通过较低的成本升级更多的测试功能，如：毫米波 mmW，F

E 系列是一款功能进阶级探针台，能实现 1μm 以上的电较为 Pad 测试，工效学设计简单易操作，灵活的 UPStart™ 模块化设计，客户可通过较低的成本升级更多的测试功能，如：毫米波 mmW，FA、MEMS、WLR 和光电等测试。

基本信息

应用方向

LD/LED/PD的光强/波长测试、晶圆二较为管、三较为管测试、PCB元器件测试、材料/器件的IV/CV特性测试、、功率器件测试、MEMS器件测试、射频测试等

技术

型号		E4	E6	E8	E12
外形（长宽高/mm）		680670760mm	680670760mm	750670800mm	1030800850mm
重量（KG）		约90kg	约95kg	约110kg	约210kg
电力需求		220VC,50~60Hz
卡盘常温标准	卡盘尺寸	4"	6"	8"	12"
	样品固定方式	环形真空吸附（可定制多孔吸附）
	背电较为测试功能	有，样品台电学较为立悬空
	卡盘材质	316#不锈钢（可选黄铜镀镍or镀金）
卡盘移动平台	Theta行程	360°旋转（粗调）；微调范围±8°，微调精度0.002°
	卡盘升降	卡盘台可以上下快速升降5mm，微调升降行程6mm，精度1μm
	X-Y行程	100*100mm	150*150mm	200*200mm	250*250mm
	移动精度	10μm
	卡盘快速拉出	N/A
	控制方式	小型旋钮驱动
针座平台	外形尺寸	长550mm*宽405mm		长720mm*宽405mm	长980mm*宽480mm
	卡盘到平台距离	8mm（卡盘上表面与针座平台下表面）
	针座数量	较多可放6个针座	较多可放8个针座		较多可放10个针座
	针座平台升降	N/A
	针座定位方式	磁力吸附或真空吸附
光学特性	镜头规格	标配PSM-1000金相显微镜/可选（GX-6金相，体视，视频）显微镜
	放大倍数	20-2000X
	CCD像素	3种CCD可选:200W（数字）/500W（数字）/650W（数字）
	运动控制	Z 轴移动行程 50.8 mm，同轴旋钮调节，细调精度优于1μm
	显微镜行程	显微镜2英寸XY平移台范围内移动
	显微镜移动精度	1μm
点针规格	X-Y-Z行程	12mm-12mm-12mm
	机械精度	10μm/2μm/0.7μm
	漏电精度	10pA/100fA （配置屏蔽箱时）
	接口形式	香蕉头/鳄鱼夹/同轴/三轴接口

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