失效分析探针台 FA系列失效分析探针台FA８
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高低温探针台CG系列真空高低温探针台SCG
手动探针台 C12 C系列高低温手动探针台
探针台 M系列小型探针台 M4，M6 mini，M6
C12高低温探针台具有优异的机械系统，结构性能稳定，人体工程学设计，操作便捷，支持多功能升级，功能丰富全面。该产品主要应用于集成电路，LED，LCD，太阳能电池，半导体行业的制造和研究领域。
基本信息
| 产品型号 | C12 | 工作环境 | 高低温环境 |
| 电力需求 | 220VC,50~60Hz | 操控方式 | 手动 |
| 产品尺寸 | 长宽高：1400mm*920mm*920mm | 设备重量 | 150KG/170KG/250KG |
应用方向
高低温环境下，LD/LED/PD测试，PCB/封装器件测试，材料/器件的IV/CV特性测试、0.2微米以上芯片内部线路/电较为/PAD测试、高频、射频测试等
卡盘XY移动平台（标准配置）
XY行程范围 | 300 mm x300 mm (12"x12") |
XY较佳行程 | 300mm x 300 mm（满足大范围行程测试） |
移动精度/分辨率 | < 1.0 µm (0.04 mils) (~0.8 mm/rev) |
平面性 | <10µm |
theta行程 | 粗调：360° |
微调精度：± 8.0° (optional)* | |
分辨率：7.5 x 10-3 gradient | |
运动控制 | 气控+无牙螺母控制 |
Z轴升降 | 快速升降：3mm |
微调升降：0-13mm,精度：≤2µm |
>针座平台
材料 | 钢镀镍 |
尺寸 | 见产品尺寸介绍第8页 |
较大针座数量 | 8 DC and 4 RF(取于针座配置) |
卡盘到针座平台下底面较佳距离 | |
Z-height运动范围 | Max.0-40mm (取于卡盘配置) |
Separation lift | 3段：分离(300µm)，Load装载(5mm),不间断升降（0-40mm) |
接触重复性 | < ±1µm (0.08 mils) |
RF 针座固定 | 磁力吸附/真空吸附 |
DC 针座固定 | 磁力吸附/真空吸附 |
报价：面议
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