WS-650Mz-23NPPB匀胶机关于光刻胶与转速

正常情况，转速越快，加速度越大，时间越长，spin的胶厚越薄；

匀胶“主要工艺参数”由转速和时间决定胶的厚度。

同样粘度的胶，转速越快胶越薄，但关系不线性，6000转/分之后减薄较慢了。

较低转速时外界环境会影响均胶质量，所以不建议用低速获得厚胶，而太高的转速长期工作也会影响机器寿命。

一般匀胶工艺使用转速3000~6000之间，膜厚的稳定性较好。

影响膜厚均匀性的因素主要有：环境温度、环境湿度、排风净压力、光刻胶温度、旋转马达的精度和和重复性，预旋转的速度，喷胶状况和回吸量等因素，环境温度的变化大大影响了圆片表面的涂胶均匀性。