基于感应加热试样的高速激光干涉热膨胀仪

本方案设计了一种高速热膨胀仪用于固体试样热膨胀和热收缩的高精度测量试样长度的测量采用差分干涉法，具有0.3nm的分辨率和30nm的测量重复性温度控制则采用感应加热和气体冷却方式实现，Zda加热速度约为100K/s，Zda冷却速度为50K/s对于非导体试样的加热则在试样周围增加金属环的间接加热方式整个测试系统可以在不同气氛环境下进行运行，包括氧气环境气氛，Zda温度可以达到1600 激光干涉法热膨胀测试系统