使用 spICP-MS/MS 对半导体制程化学品进行多元素纳米颗粒分析

使用 Agilent 8900 ICP-MS/MS，在多元素 spICP-MS 模式下，对 1% TMAH 中的多元素纳米颗粒进行了测定和表征。对于半导体级化学品中的多元素  NP  分析，MS/MS 方法可实现低背景、高灵敏度和干扰控制。使用专门开发的快速多元素纳米颗粒分析软件，在一次样品采集中获得  Ag、Al₂O₃、Fe₃O₄、Au 和  SiO₂  NP  的多元素数据并组合到一个结果表中。该表格提供关于含各种实测元素的纳米颗粒的全面信息。结果表明，在溶液中含有大颗粒（如200 nm SiO₂ NP）的情况下仍可测量小颗粒（如 30 nm Fe₃O₄NP）。1% TMAH 溶液中的  Al₂O₃和  SiO₂  NP  的粒径和颗粒浓度在 10 小时内稳定不变，而 Fe₃O₄和 Ag NP 的颗粒浓度随时间逐渐减小。这一结果表明，TMAH 溶液中的 Fe₃O₄和 Ag NP 应在配制好后尽快测量。1% TMAH 中 Fe₃O₄ NP 的粒径稳定不变，而 NP 浓度随时间的变化还需要进一步的研究。本研究表明，利用  spICP-MS  能够快速准确地测定含有由不同和/或多种元素组成的纳米颗粒的样品。与针对每种  NP  分别采集数据相比，快速多元素纳米颗粒分析软件简化了分析方法并将样品运行时间缩短了  7  分钟。测量的元素越多，节省的时间也就越多。