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仪器网/ 应用方案/ CrN/AlN多涂层的高温氧化High-temperature oxidation o

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实验报告的是通过二次离子质谱仪(SIMS)对CrN/AlN高温氧化物多涂层进行的深度剖析.涂层是通过一个封闭非平衡的磁电管沉积成的.氧化是在900度下进行2小时,在1100度下进行4小时. 二次离子质谱探针

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