SMU数字源表搭建晶圆级微电子材料器件测试系统方案

在半导体材料和器件的研究中，电性能测试是必不可少的环节。随着半导体技术的提升，微电子工艺逐渐复杂，如何对微电子材料器件进行高效率测试成为业内关注的中点。普赛斯仪表陆续推出多型号国产化数字源表SMU，为进一步打通测试融合壁垒，打造闭环解决方案，通过对半导体高端测试装备上下游产业链的垂直整合，晶圆级微电子材料器件测试系统应运而生!
普赛斯数字源表SMU是整个测试系统的核心部分，用户可以根据材料器件不同的电流、电压，配置不同规格参数的源表和探针台。

更高效:灵活测试：

体积小巧，节省实验台空间
接线简单，无需繁杂的同步触发操作
适应多种测量模式，如四探针、三同轴等

更可靠:广泛应用：
利用普赛斯这套国产化高精度数字源表+探针台的测试系统，可以为您完成任何晶圆、芯片、微小电子器件的测试。

目前，普赛斯仪表已拥有涵盖直流源表、脉冲源表、窄脉冲源、大电流脉冲源、高电流源、高电压源、大功率激光器测试电源、插卡式源表、数据采集卡、脉冲恒压源等完整的国产化数字源表解决方案，可为不同领域、不同需求的用户提供全方位的测试支持，打造高效、灵活的微电子材料器件测试系统!

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